真空阀门
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气动式真空角阀
CF可旋转法兰单动有波纹管(美规)
CF可旋转法兰双动有波纹管(美规)
CF可旋转法兰单动无波纹管(美规)
CF可旋转法兰双动无波纹管(美规)
CF可旋转法兰单动有波纹管(欧规)
CF可旋转法兰双动有波纹管(欧规)
CF可旋转法兰单动无波纹管(欧规)
CF可旋转法兰双动无波纹管(欧规)
CF可旋转法兰有波纹管附感应器(美规)
CF可旋转法兰有波纹管附感应器(欧规)
KF法兰单动有波纹管(美规)
KF法兰单动有波纹管(欧规)
KF法兰单动无波纹管(美规)
KF法兰单动无波纹管(欧规)
KF法兰有波纹管附感应器(美规)
KF法兰有波纹管附感应器(欧规)
ISO法兰双动有波纹管(美规)
ISO法兰双动有波纹管(欧规)
ISO法兰双动无波纹管(美规)
ISO法兰双动无波纹管(欧规)
真空阀(Vacuum Valves) - 角阀(气动)是属提升锥阀的一种。当提升锥被顶至顶端时, 阀门内部的结构腔是开放系统且气体流动不受阻碍。一旦提升锥被移动至阀门底部时,橡胶密封圈被压缩密封阀门,而阻绝气体的流通达到密封之效果。
Htc日扬真空(Htc Vacuum) 提供各式形式尺寸的真空角阀。它们有手动和气动，有软管与无软管。接口端可以焊KF, ISO, CF法兰。Htc日扬真空设计所有系列角阀适用于真空排气系统、高真空应用的抽气系统、半导体技术与研究系统等。
- 本体: 不锈钢304S.S. (可依客户要求提供其它材质)
- 提升锥: 不锈钢304S.S. (可依客户要求提供其它材质)
- 接口端外径: 3/4 ~ 8 英寸
- 软管: Welded AM-350 (选配)
- 开关指示装置: (选配)
- 电磁阀: (选配)
- 密封: Viton O型环
- 漏率: 2×10-9 mbar-l/sec
- 使用压力范围: 1×10-9 mbar 到1000 mbar
- 最大使用压差: 1.2 Bar
- 作动气压: 4 ~ 6.5 kg/cm2
- 保固寿命: 3/4 to 2 inch -- 500,000 times
2.5 to 6 inch -- 250,000 times - 耐温限制:
烘烤温度
阀门本体
O型圈密封
Open ≤ 100℃
Close ≤ 100℃
金属密封
Open ≤ 200℃
Close ≤ 150℃
手动式和气动式
≤ 80℃
保固条件
- 自客户收到货品起一年内, 或到达产品设定的使用次数, 先到者为准
- 操作环境限于空气, 惰性气体及真空
- 因天然灾害, 错误操作造成的损坏及消耗品不在保固范围内
- 客户使用后，若通过视觉判断存在粉尘，此不在保修范围内。
我们可以提供更大或特殊的规格,请透過联络我们提供图面，我们的业务专员将会与您联络与报价。
气动真空阀门变更气缸为铝合金气缸对产品质量提升及客户应用效益:
- 产品质量提升: 铝合金汽缸一体成形加工,更能确保汽缸精度质量
Angle / Z-inline / Y-inline 气缸型式改变铝合金的规格有: 16/25/40(35)/50
63以上并未修改
真空阀门的种类有角阀、挡板阀、闸阀、球阀、逆止阀、蝶阀...等，操作方式通常会有手动、气动及电动三种。这些真空阀门会依其功能性质的不同，分别被使用于粗真空、低真空、高真空及超高真空等不同真空环境。
真空阀门广泛应用于光电半导体精密制程、先进之TFT-LCD、薄膜太阳能、太阳能电池制程高真空腔体基本构造。
特殊规格真空阀门的客制或订制，欢迎来函ec@high-light.com.tw洽询。
真空阀门规格
- 阀门本体: 304 S.S. (Other material available upon request)
- 阀芯: 304 S.S. (Other material available upon reques)
- 波纹管: Welded AM-350 (option)
- 电磁阀: Option
- 位置指示器: Option
- 密封件: Viton Oring
- 泄漏率: 2x10-9 mbar.l/sec
- 压力范围: 1x10-9 mbar 到1000 mbar Viton seal bonnet
- 打开前的最大压力: 1.2 bar
- 打开气压: 4~6.5 kg/cm2
- 作动寿命:
Bellows type: 16 to 50~500,000 ; 63 to 150~250,000 ; 200 to 250~80,000
No Bellows type: 10 to 50~200,000 ; 63 to 250~100,000 (Depend on Oring condition)
No Bellows type: Suggest to install in vertical orientation - 烘烤温度范围:
阀本体 O形环密封 Oring bonnet seal 开 Open ≤ 100℃ 关 Close ≤ 100℃ 金属密封 Metal bonnet seal 开 Open ≤ 200℃ 关 Close ≤ 150℃ 手动和气动 Manual and pneumatic actuator ≤ 80℃ - 大型或特殊尺寸的真空阀门可依需求订制
