同步辐射UHV超高真空腔体(箱体)
同步辐射超高真空腔体(箱体)是一个极大的超高真空(10-10 torr)腔体。Htc日扬科技以真空科技技术为基础, 累积了超过无数超高真空相关技术案例，供产业界进行相关应用。
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产品细项
同步辐射超高真空腔体
材质：S.S.304
表面处理：电解抛光
规格：CF 350 Flange方形超高真空(UHV)腔室
泄漏率<2 x 10-10mbar.l/sec
工作压力<7.5 x10-10 torr
RGA总压<1 x10-9 torr时， 45amu以上物质总分压<0.1%
