钟摆阀
※ 请选取产品分类项 ※
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材质 |
本体 |
A6061-T6 |
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阀板 |
A6061-T6 |
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开关寿命 |
200,000 cycles |
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氦气泄漏率(一大气压压差) |
本体 铝合金 |
＜1×10-9 mbar .l /sec |
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本体 铝合金 ,超硬阳极处理 |
＜1×10-5 mbar .l /sec |
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烘烤温度 |
本体 |
≤ 120 ℃ |
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驱动器 |
≤ 80 ℃ |
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电磁阀 |
≤ 50 ℃ |
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压力范围 |
铝合金 |
1×10-8 mbar to 1.2 bar |
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铝合金 ,超硬阳极处理 |
1×10-6 mbar to 1.2 bar |
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最大压差 |
1.2 bar |
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开启前压差 |
≤ 5 mbar |
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压缩空气压力 |
4 ~ 6 Kg/cm² |
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开/关时间(秒) |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
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1.2/1.2 |
1.2/1.2 |
2.0/2.0 |
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密封圈材质 |
阀板 |
Viton O-ring |
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阀盖 |
Viton O-ring |
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驱动器 |
气动气缸 |
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重量 |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
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21Kg |
31Kg |
51Kg |
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安装位置 |
水平或垂直 |
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选配 |
a. 其他密封圈材质 |
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设计原理/特点：
1.震动少
2.可耐腐蚀
3.操作过程粉尘少
4.拆装容易，维修时不需拆整组设备
5.可承受较大压差 (HTC专利)
规格：
1.规格尺寸:ISO200、ISO250
2.本体材质:Aluminium 6061-T6
3.Gate 组材质: Aluminium 6061-T6
4.本体表面处理 : 裸材或硬阳处理
5.安装位置:水平(汽缸朝上) 或 垂直
6.气体压力 : 4-6 kg/cm2
控制器外部接线
气动钟摆阀(Pendulum Valve)主要应用在制程真空室和涡轮分子泵入口之间安装一个大的节流阀。Htc日扬真空钟摆阀表面处理设计结构有素材面或阳极硬膜构成，具有耐腐蚀，灰尘少的特点。它可用于ISO200,ISO250,ISO320法兰, 尺寸为8",10", 12"的ISO阀门, 其作动方式有气动和APC模式两种。此阀门为一般的闸阀(Gate Valve)或是钟摆阀(Pendulum Valve)之类的设计, 产品应用在OLED, FPD, and PV工业制作系统。
