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真空蝶阀

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APC 蝶阀-DeviceNET通讯

APC 蝶阀-MODBUS通讯

APC 蝶阀-EtherCAT通讯

气动高真空蝶阀

三位置真空蝶阀

Htc高真空手动蝶阀

Htc日扬手动真空蝶阀

BV-D 蝶阀系列

BV-N 蝶阀系列

X-蝶阀系列

MBV-LD 蝶阀系列

MBV-AD 蝶阀系列

APC 蝶阀-MODBUS通讯

CF法兰型APC蝶阀

KF法兰型APC蝶阀

ISO法兰型APC蝶阀

APC 电动蝶阀影片简介

APC 电动蝶阀闸门系统设置

1. 阀
2. 处理室
3. 进气口
4. 压力传感器
5. 传感器线
6. 控制器和执行器
7. 连接遥控控制器
8. 连接电源线
9. 真空泵

APC 蝶阀特色

集成整合压力控制器
精确的压力控制
严谨隔离
反应时间短
友善使用接口

主要应用

真空压力控制和隔离阀门

应用产业

>> SEMI - 半导体
>> FPD - 光电面板
>> CVD - 化学气相沉积
>> Solar - 太阳能

蝶阀控制系统 - ModBUS 控制器

特点

>> 非常快速准确的压力控制
>> 阀门位置控制
>> 备用电源：有，用于停电时关闭阀门。
>> 传感器电源：24V DC 和±15V DC 均有
>> 2 个线性传感器或模拟线性物理量的输入
>> 模拟量和数位控制
>> 环境温度：≤ 70°C max.（控制器部分-24HR）
>> 远端控制（供客户选择）
>> 阀门可由主机（本地控制）通过RS232控制；用于初始调整。
>> 状态和位置以绿色4位亮数字显示。

Model	Connection	Connection Type
Power	Power input	DB-9 male
Sensor (Vacuum Gauge)	Sensor input/ Sensor power supply	DB-15 female
Interface	RS232+Logic RS485+Logic	DB-25 female
Service	APC service	Mini USB type B female
Monitor	Show status	Green LED display

APC 软件功能

使用APC软件计算机控制提供便利操作功能

设置控制调整参数：PID GAIN
压力和位置控制模式
附表测试模式=> 1 cycle schedule
设置阀打开/关闭速度
记录APC HW/SW 版本, 序列号和型号
记录阀门循环和运行时间
设置公差范围的压力
循环寿命和压力控制记录
控制器参数上传和下载
断电保护功能
屏幕截图
压力学习功能

Specifications

Valve unit
Material	Body		304S.S. (*1)
	Plate		304S.S. (*1)
	Shaft		304S.S.
	Gate seal		Viton
	Shaft seal		Viton
Flange	KF、ISO、CF
Mounting orientation	Any
Cycles until first service	Pressure control		2,000,000(*2)
	Closing / Opening		250,000
Helium leak rate at 1 atm differential	< 1 x 10-9 mbar．l/sec
Pressure range	1 x 10-8 mbar to 1.2 bar
Operating temperature	Body	10°C to 110°C
Actuator	Step Motor
Options	a. Communication interface(RS232,RS485) b. Analog input(12bit,24bit)
Standard accessories	Digital node(4in/4out)

(*1) Body and Plate material can choose aluminum alloy.

(*2) The Cycle life of valve is apply to room temperature 25°C and clean environment, and the opening action apply to be less than 10 mbar pressure difference. (If the opening action exceeds the pressure difference of 10 mbar, it is not covered by this guarantee.)

(*3) If there is particle issue in the working condition of the valve , please clean the valve plate and body regularly and apply some vacuum grease on these parts.

Control and actuating unit
Input voltage	+24 VDC(±10%)		connector: POWER
Power consumption	100W max.(controller+Motor+Sensor+Power+Failure)		connector: POWER
Sensor power supply output	+24 VDC /+-15VDC， 500 mA		connector: SENSOR
Analog input
Q’ty of sensors	Independent 2 channel		connector: SENSOR
Input voltage	0-10V DC linear Physical quantity		connector: SENSOR
Resolution	12bit	2.3 mV	connector: SENSOR
	24bit	0.5 mV
Sampling rate	1 msec		connector: SENSOR
Input resistance	Ri>=21kΩ		connector: SENSOR
Analog output
Q’ty of sensors	Independent 2 channel		connector: INTERFACE
Outputs voltage	0-10V DC linear		connector: INTERFACE
Digital Input/ Output
Input	Independent 2 channel ,Option 4 channel		connector: INTERFACE
Output	Independent 2 channel ,Option 4 channel		connector: INTERFACE
Admissible temperature	≦70 ℃ -24HR
Pressure control accuracy	0.1% of maximum sensor range
Backup Power	Yes
KF25,KF40,KF50,CF35
Closing time	<0.85sec
opening time	<0.85sec
Valve max. torque	50kg-cm
Position resoiution	8000(steps 0-90 rotation)
ISO63, ISO80, ISO100, CF63, CF100
Closing time	<0.85sec
opening time	<0.85sec
Valve max. torque	50kg-cm
Position resoiution	8000(steps 0-90 rotation)
ISO160, CF150
Closing time	<3.5sec
opening time	<3.5sec
Valve max. torque	90kg-cm
Position resoiution	2400(steps 0-90 rotation)

真空蝶阀的功能通常是阻绝或是调节流量, 其关闭的机构主要为一个圆型片, 操作的方式和真空球阀很类似, 可以快速的开启或关闭, 蝶阀受到欢迎的主要原因是重量比较轻, 就不需要太多的支撑。

Htc日扬真空提供许多种真空蝶阀具备蝶阀本体与控制器, 特色为具备蝶阀开合度调节真空压力, 使用寿命长, 品质质量稳定，产品出厂全部用氦质谱检漏仪检测, 由于坚固的机构设计可以数年连续使用阀门而无须维修. 真空蝶阀阀门驱动的方式有手动蝶阀, 气动蝶阀和马达带动蝶阀等不同方式, 客户可以视实际的应用来选购适合的真空蝶阀。

有一个特别注意事项就是当真空蝶阀阀门全开后, 若见到圆型片是突出于阀体之外时, 此圆形片有可能会与连接在蝶阀两端的管子内部表面干涉, 故建议使用者在安装之前先确认欲安装的管子内径是否符合蝶阀型录规格表中的最小尺寸。