真空阀门
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大型角阀阀门
ISO法兰手动有波纹管
CF法兰手动有波纹管
ISO法兰手动无波纹管
CF法兰手动无波纹管
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ISO法兰气动双动有波纹管
CF法兰气动双动有波纹管
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ISO法兰气动双动无波纹管
CF法兰气动双动无波纹管
Htc日扬真空专业订制大型真空角阀用于大直径大尺寸的高真空系统或超高真空系统，标准大型尺寸从ISO100到ISO250或CF100到CF250，可提供单位生产、小批量和持别订制真空角阀产品的标准角阀产品。 标准大型角度阀可具有真空金属波纹管或不含金属波纹管，使手动或气动作动活塞与真空隔离，能够打开和关闭控制真空角阀运作。 阀板采用Viton O形圈密封，用于ISO大型阀门，另外采OFHC CF 无氧铜垫片密封用于CF大型阀门。大型真空角阀可用于HV高真空和UHV超高真空真空范围。
有任何相关真空需求或问题，欢迎联系我们，Htc日扬真空乐意为您提供解决方案。
保固条件
- 自客户收到货品起一年内, 或到达产品设定的使用次数, 先到者为准
- 操作环境限于空气, 惰性气体及真空
- 因天然灾害, 错误操作造成的损坏及消耗品不在保固范围内
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气动真空阀门变更气缸为铝合金气缸对产品质量提升及客户应用效益:
- 产品质量提升: 铝合金汽缸一体成形加工,更能确保汽缸精度质量
Angle / Z-inline / Y-inline 气缸型式改变铝合金的规格有: 16/25/40(35)/50
63以上并未修改
真空阀门的种类有角阀、挡板阀、闸阀、球阀、逆止阀、蝶阀...等，操作方式通常会有手动、气动及电动三种。这些真空阀门会依其功能性质的不同，分别被使用于粗真空、低真空、高真空及超高真空等不同真空环境。
真空阀门广泛应用于光电半导体精密制程、先进之TFT-LCD、薄膜太阳能、太阳能电池制程高真空腔体基本构造。
特殊规格真空阀门的客制或订制，欢迎来函ec@high-light.com.tw洽询。
真空阀门规格
- 阀门本体: 304 S.S. (Other material available upon request)
- 阀芯: 304 S.S. (Other material available upon reques)
- 波纹管: Welded AM-350 (option)
- 电磁阀: Option
- 位置指示器: Option
- 密封件: Viton Oring
- 泄漏率: 2x10-9 mbar.l/sec
- 压力范围: 1x10-9 mbar 到1000 mbar Viton seal bonnet
- 打开前的最大压力: 1.2 bar
- 打开气压: 4~6.5 kg/cm2
- 作动寿命:
Bellows type: 16 to 50~500,000 ; 63 to 150~250,000 ; 200 to 250~80,000
No Bellows type: 10 to 50~200,000 ; 63 to 250~100,000 (Depend on Oring condition)
No Bellows type: Suggest to install in vertical orientation - 烘烤温度范围:
阀本体 O形环密封 Oring bonnet seal 开 Open ≤ 100℃ 关 Close ≤ 100℃ 金属密封 Metal bonnet seal 开 Open ≤ 200℃ 关 Close ≤ 150℃ 手动和气动 Manual and pneumatic actuator ≤ 80℃ - 大型或特殊尺寸的真空阀门可依需求订制
