Edwards 磁浮涡轮分子泵
Htc日扬真空获原厂Edwards技术指导提供台湾区Edwards 磁浮涡轮分子泵，同等原厂真空泵技术服务。
产品细项
High Flow STP涡轮分子泵
新型的转子科技
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增加抽除H2, N2, 和Ar的效能
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增强压力范围由高真空到气体流量2,300 sccm之间的抽气效能
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少维修
- 零污染
- 低震动
创新的力矩控制
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减少力矩机构的专利
STP高流量涡轮分子泵
STP高流量涡轮分子泵系列在长时间运转、无碳氢化物的抽气过程中是首选，运转中利用多轴磁浮轴承系统来支撑转子，使震动最小化、减少噪音和维护需求、并可排除污染风险。STP高流量涡轮分子泵可以和新型的控制器完全相容并且广泛应用在许多不同的制程。
有关Edwards涡轮分子泵需求, 欢迎来信洽询 : ec@high-light.com.tw
STP高流量涡轮分子泵系列在长时间运转、无碳氢化物的抽气过程中是首选，运转中利用多轴磁浮轴承系统来支撑转子，使震动最小化、减少噪音和维护需求、并可排除污染风险。STP高流量涡轮分子泵可以和新型的控制器完全相容并且广泛应用在许多不同的制程。
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