Local Scrubber 湿式洗涤设备

Htc日扬真空提供微气泡水洗式废气处理设备 (μ-Bubble Wet Scrubber) 销售与保养服务，以高标准、高质量的产品与标准维修保养程序管理，为先进半导体制程等高科技产业提供最佳废气处理服务，是客户值得信赖的合作伙伴！

设备原理

利用文氏管原理、压力、流速、管径之变化产生优化之微气泡， μ- Bubble的粒径更小、接触表面积大、浮力低停留水中时间增长…等，透过微气泡的特性可有效增加气体溶解率及微粒捕捉率，提高制程气体之捕捉效率。比传统洒水式Wet Scrubber更高效。

产品特点

相较于传统洒水式Wet Scrubber，日扬科技微气泡水洗式废气处理设备 (μ-Bubble Wet Scrubber) 具备以下优点：

1. 在晶圆厂和光电厂己证实能高效处理PM 2.5之微粒子，微粒子捕捉效率>90%，传统洒水式<10%

2. 吸入口负压值高(-11~-13Kpa)，水气混合效率高

3. 具自动清洗功能，能延长本身设备PM周期

4. 减少制程Dry Pump阻塞以增加Life Time

5. 减少后段厂务管线阻塞，延长PM时间

设备介绍｜微气泡水洗式废气处理设备 (μ-Bubble Wet Scrubber)

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