真空腔体配件零组件
Htc日扬真空腔体配件零组件拥有好质量和价格, 提供给澳洲、美国、南非、英国、马来西亚、俄罗斯、欧洲等全世界各国真空腔体设备制程产业。除此之外, 真空腔体必搭真空泵或真空泵维修零件包, 透过Htc日扬真空24小时全年待命真空维修服务机制, 依客户需求提供高效率、多样弹性化支持服务。真空腔体密封件提供从腔室的内部真空到外部腔环境的无泄漏（或可接受的泄漏率）密合。 腔体密封件适用于所有类型的真空腔体有两类：一类是高真空腔体密封件 - Viton或NBR oring，另一类是超高真空室密封件 - 无氧铜垫片。
真空腔体与超真空腔体上会焊接加工真空窗口, 以利透过真空窗口观察腔体内高温、制程镀膜运作, 亦可依客户提供的图面或规格特别订作制造。真空观察窗口材质有强化玻璃、石英玻璃和蓝宝石, 耐温差及耐气压冲击性, 安全确认真空腔体内部的状况必备真空腔体配件零组件。
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