钟摆阀
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3位置钟摆阀含传感器提供真空压力控制
Htc日扬真空3位置钟摆阀通过可调控制气缸实现真空隔离和真空压力控制。 真空钟摆动阀连接了传感器，让控制器可以让阀门打开，关闭或到第三个位置，提供更好的设定点精确度和可重复性控制功能。Htc日扬真空钟摆阀具有高性能真空压力控制系统，控制节流摆阀板可做开关动作，调整闸板开口大小及调整压力(手动), 主要设计用来取代传统的线性作动真空闸阀，以更少的移动零件、更少金属与金属间的摩擦，就能让粉尘减少。以Htc日扬真空钟摆阀的安装也比传统的真空闸阀方式只需要更少的空间即能便利安装。
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材质 |
本体 |
A6061-T6 |
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阀板 |
A6061-T6 |
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开关寿命 |
200,000 cycles |
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氦气泄漏率 (一大气压压差) |
本体 铝合金 |
＜1×10-9 mbar .l /sec |
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本体 铝合金 ,超硬阳极处理 |
＜1×10-5 mbar .l /sec |
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烘烤温度 |
本体 |
≤ 120 ℃ |
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驱动器 |
≤ 80 ℃ |
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电磁阀 |
≤ 50 ℃ |
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压力范围 |
铝合金 |
1×10-8 mbar to 1.2 bar |
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铝合金 ,超硬阳极处理 |
1×10-6 mbar to 1.2 bar |
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最大压差 |
1.2 bar |
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开启前压差 |
≤ 5 mbar |
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压缩空气压力 |
4 ~ 6 Kg/cm² |
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开 / 关时间(秒) |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
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1.2/1.2 |
1.2/1.2 |
2.0/2.0 |
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密封圈材质 |
阀板 |
Viton O-ring 密封圈 |
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阀盖 |
Viton O-ring 密封圈 |
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驱动器 |
气动气缸与手动旋钮 |
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重量 |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
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22Kg |
32Kg |
52Kg |
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安装位置 |
水平或垂直 |
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选配 |
a. 其他密封圈材质 |
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控制器外部接线
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脚位 Pin |
功能 |
状态 |
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1 |
电源+24VDC |
电源 P |
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2 |
电源接地-0VDC |
电源 P |
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3 |
开 讯号输入 |
输入 I |
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4 |
关 讯号输入 |
输入 I |
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5 |
第三段 讯号输入 |
输入 I |
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6 |
不使用 |
不使用 x |
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7 |
开 讯号输出 |
输出 O |
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8 |
关 讯号输出 |
输出 O |
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9 |
电源+24VDC |
电源 P |
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10 |
电源接地-0VDC |
电源 P |
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11 |
第三段A 讯号输出 |
输出 O |
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12 |
第三段B 讯号输出 |
输出 O |
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13 |
不使用 |
不使用 x |
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14 |
不使用 |
不使用 x |
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气动钟摆阀(Pendulum Valve)主要应用在制程真空室和涡轮分子泵入口之间安装一个大的节流阀。Htc日扬真空钟摆阀表面处理设计结构有素材面或阳极硬膜构成，具有耐腐蚀，灰尘少的特点。它可用于ISO200,ISO250,ISO320法兰, 尺寸为8",10", 12"的ISO阀门, 其作动方式有气动和APC模式两种。此阀门为一般的闸阀(Gate Valve)或是钟摆阀(Pendulum Valve)之类的设计, 产品应用在OLED, FPD, and PV工业制作系统。
