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ペントロールバルブ
※ Please select product classify ※
3位置ペントロールバルブ、リードセンサー付き、より良い圧力制御可能
日揚科技(Htc vacuum)の3位置ペントロールバルブはエアーシリンダーを経由して、真空隔離と真空圧力の制御を実現する。コントロールバルブがリードセンサーを付いてる、コントローラーの制御でバルブが全開、全閉以外、第3位置でストップ可能である。正確な設定位置の制御精度と再現性を提供する。
日揚科技(Htc vacuum)の真空ペントロールバルブは高性能の真空圧力のコントロールシステムを持っているのから、 正確にゲートプレートの開閉を制御し、第3位置の開度と圧力を調整可能である。ペンドロールバルブの設計は作動の部品が少ないから、金属部品同士の摩擦も減少できるし、発塵も減少できる。
ペンドロールバルブの取付スペーサはゲートバルブより小さいから、部分のゲートバルブを切替る。
Material |
Body |
A6061-T6 |
||
Gate |
A6061-T6 |
|||
Life Cycle |
200,000 cycles |
|||
Helium leak rates at 1 atm differential |
Body Aluminum |
<1×10-9 mbar .l /sec |
||
Body Aluminum ,hard anodized |
<1×10-5 mbar .l /sec |
|||
Bake Temperature |
Body |
≤ 120 ℃ |
||
Actuator |
≤ 80 ℃ |
|||
Solenoid valve |
≤ 50 ℃ |
|||
Pressure Range |
Aluminum |
1×10-8 mbar to 1.2 bar |
||
Aluminum ,hard anodized |
1×10-6 mbar to 1.2 bar |
|||
Maximum ΔP |
1.2 bar |
|||
Max. ΔP during opening |
≤ 5 mbar |
|||
Compressed air pressure |
4 ~ 6 Kg/cm² |
|||
Opening / Closing time |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
|
1.2/1.2 |
1.2/1.2 |
2.0/2.0 |
||
Standard Seal |
Gate |
Viton O-ring |
||
Bonnet |
Viton O-ring |
|||
Actuator |
Electro-Pneumatic and Manual |
|||
Weight |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
|
22Kg |
32Kg |
52Kg |
||
Mounting position |
Horizontal or Vertical |
|||
Options |
a. Other material of Gate O-ring |
Control Wiring Extern
Pin |
Function |
Status |
|
1 |
Power supply 24VDC |
P |
|
2 |
Power GROUND |
P |
|
3 |
Open signal input |
I |
|
4 |
Close signal input |
I |
|
5 |
Three-segment signal input |
I |
|
6 |
Reserved |
x |
|
7 |
Open signal output |
O |
|
8 |
Close signal output |
O |
|
9 |
Power supply 24VDC |
P |
|
10 |
Power GROUND |
P |
|
11 |
Three-segmentA signal output |
O |
|
12 |
Three-segmentB signal output |
O |
|
13 |
Reserved |
x |
|
14 |
Reserved |
x |
圧空式ペントロールバルブは大口径のスロートバルブとしてプロセスチャンバーとダブル分子ポンプの間に取付けている。Htc vacuum(日揚科技)のペントロールバルブは表面処理はアルミニウム合金と硬質アルマイトの2種類がある。製品の特徴は耐腐食、発塵小である。接続フランジのサイズは常に ISO 200,ISO 250,ISO 320以上で、駆動式は圧空式及びAPCの二つである。その大口径のスロートバルブはいつもゲートバルブ及びペントロールバルブに設計されている。製品は有機EL(OLED)、FPD、PV産業の製造装置に応用する。