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真空ゲートバルブ
※ Please select product classify ※
高真空高速閉鎖ゲートバルブ
ISO高真空高速閉鎖ゲートバルブ - 手動、円錐形ゲート
ISO高真空高速閉鎖ゲートバルブ - 空圧式、円錐形ゲート
KF高真空高速閉鎖ゲートバルブ - 空圧式、円錐形ゲート
KF高真空高速閉鎖ゲートバルブ - 空圧式LOTO、円錐形ゲート
ISO高真空高速閉鎖ゲートバルブ - 空圧式LOTO、円錐形ゲート
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材質 |
本体 |
SUS304 |
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ゲート |
SUS304 |
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耐久回数（非加熱・清浄環境下） |
ゲート（初回メンテナンスまで） |
500 |
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シャフトシールスルー |
100,000 |
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ヘリウム漏洩率（1気圧差） (mbar‧ l / sec) |
シャフト |
＜1×10-9 |
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ボンネット |
＜1×10-9 |
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ゲート |
＜1×10-7 |
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|
ベーキング温度 |
本体 |
≤ 150 °C |
|
圧力範囲 (mbar) |
1x10-8 ～1200 |
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|
最大差圧 |
1.2 bar |
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|
開動作時最大差圧 |
≤ 1.0 bar |
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シール材 |
シャフト |
Viton O-ring |
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ボンネット |
Viton O-ring |
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ゲート |
Viton O-ring |
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|
表面処理 |
スコッチ研磨 |
|
|
取付方向 |
自由 |
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空気作動 / 空気作動LOTO 仕様説明
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材質 |
本体 |
SUS304 |
|||
|
ゲート |
SUS304 |
||||
|
耐久回数（非加熱・清浄環境下） |
ゲート（初回メンテナンスまで） |
5,000 |
|||
|
シャフトシールスルー |
100,000 |
||||
|
ヘリウム漏洩率（1気圧差）(mbar‧ l / sec) |
シャフト |
＜1×10-9 |
|||
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ボンネット |
＜1×10-9 |
||||
|
ゲート |
＜1×10-7 |
||||
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ベーキング温度 |
本体 |
≤ 180 °C |
|||
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アクチュエータ |
≤ 80 °C |
||||
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ソレノイドバルブ（オプション） |
≤ 50 °C |
||||
|
圧力範囲 (mbar) |
1x10-8 ～1200 |
||||
|
最大差圧 |
1.2 bar |
||||
|
開動作時最大差圧 |
≤ 1.0 bar |
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圧縮空気圧力 |
4-7 Kg/cm2 |
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エア接続口径 |
Ø6 mm |
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開閉時間 |
KF50 ISO63 |
閉 |
≤ 0.35 sec |
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開 |
≤ 1.0 sec |
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ISO80 ISO100 |
閉 |
≤ 0.5 sec |
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開 |
≤ 1.0 sec |
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ISO160 |
閉 |
≤ 1 sec |
|||
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開 |
≤ 1.5 sec |
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シール材 |
シャフト |
Viton O-ring |
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ボンネット |
Viton O-ring |
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ゲート |
Viton O-ring |
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アクチュエータ方式 |
空気作動 / LOTO付空気作動 |
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ポジションインジケータ |
Reed sensor (2線) 24VDC (オプション) |
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ソレノイドバルブ |
5/2 単動式 24VDC (オプション) |
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空圧低下時の挙動 |
Valve閉 |
Closed (≥24h) |
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Valve開 |
未定義 |
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動作中 |
未定義 |
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表面処理 |
スコッチ研磨 |
||||
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取付方向 |
自由 |
||||
真空ゲートバルブは常に配管と接続か遮断を使用している。そのため、真空ゲートバルブは真空装置の配管に不可欠な役割を果たす。
Htc vacuum(日揚科技)のゲートバルブは。操作方式にて手動式及び圧空式の2種類がある。優れた製造精度と安定な品質で各種な高真空及び超高真空の環境に満足できる。
Htc vacuum(日揚科技)は各寸法のゲートバルブを提供可能です。接続フランジはKF、ISO、CF等以外、JIS規格の特製フランジでも可能です。
応用範囲：真空排気システム、高真空等応用の排気システム、半導体の真空装置、研究用の真空装置等。
Advanced service and support
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Htc vacuum(日揚科技)のゲートバルブは顧客の応用を応じて特製品を製造可能です。左の写真の様に手動の規格品に弁体に粗引きのポートを追加加工して、顧客の特製品になった。 何が特殊なニーズがありましたら、お気軽でメールしてください。製品のサイズやポート繋ぎ式等を検討可能です。 |
ゲートバルブは常に実験研究の装置に使用している。バルブを取付ける前、バルブに残留ガス分析計(RGA)でガス放出状況を確認必要である。Htc Vacuum(日揚科技)のRGA測定システムはインフィコン製のMPH100Mの残留ガス分析計を設置している。その分析計は業界最高の測定速度、最小検知分圧及びS/N比を実現できる。そのため、顧客はRGAを測定の要望がある場合、RGA測定レポートを提供可能である。測定費用は別途にお気軽にお問合せ下さい. 
