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製品の内訳
台灣同步輻射24-3/8”CF Flange超高真空(UHV)腔體
Material:S.S.304
Surface treatment: Electro-polished
Spec: 24-3/8” CF flange
Leakage rate<5x10-10 mbar.l/sec
Operation pressure<7.5x10-10 torr
When the total pressure is below 1 x10-9 torr, partial pressure of above 45amu is <0.1%.
RGA analysis