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バターフライバルブ

Category
Specification

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APC バターフライバルブ-DeviceNET

APC バターフライバルブ-ModBUS

APC バタフライバルブ-EtherCAT

Htc製圧空式バターフライバルブ

3ポジションバターフライバルブ

高真空用バターフライバルブー手動式

Htc-バターフライバルブ-手動式

BV-D Series

BV-N Series

X-Series

MBV-LD Series

APC バタフライバルブ-EtherCAT

APC Butterfly Valve for EtherCAT | Vacuum butterfly valve - Htc vacuum

KF APC 制御バターフライバルブ

ISO APC 制御バターフライバルブ

CF APC 制御バターフライバルブ

APC バターフライバルブ-EtherCAT 通訊装置に設置方式

1. バルブ
2. プロセスチャンバー
3. ガス導入口
4. 圧力センサー
5. センサーケーブル
6. コントローラとアクチュエーター
7. リモートコントローラーケーブル
8. 電源ケーブル
9. 真空ポンプ

APC Butterfly Valve for EtherCAT

主要応用

真空圧力制御及び隔離

応用産業

>> SEMI - 半導体
>> FPD - フラットパネルディスプレイ
>> PVD - 物理蒸着
>> Solar - 太陽電池

APC Butterfly valve-EtherCAT

Specifications

>> 快速に正確な圧力の制御
>> バルブ位置制御
>> 予備電源：有り、停電時、バルブの閉める用
>> センサー電源：有り、24V DCと±15V DCの両方とも有り
>> 2つのセンサー接続可能で、2種の操作モードを選択可能
>> 環境温度:最高70度以内(コントロール部分―24時間)
>> リモート制御(客先オプション可)
>> 初回調整時、パソコン(RS232)で調整可
>> バルブの状態と位置はコントローラーに緑のライトで表示

Model	Connection	Connection Type
Power	Power input	DB-9 male
Sensor (Vacuum Gauge)	Sensor input/ Sensor power supply	DB-15 female
Interface	EtherCAT IN/OUT	RJ45 standard
Service	APC service	Mini USB female
Monitor	Show status	Green LED display
Run LED	Show EtherCAT Well	Green LED
ERR LED	Show EtherCAT Error	Red LED

APC software functions for EtherCAT

APCソフトウェアーの使用、便利なパソコン操作性能を提供できる

制御チューニングパラメータを設定する: GAIN
圧力及び位置制御モード
スケジュールテストモード=> 1 サイクルスケジュール
バルブ開/閉速度設定
APC HW/SW バージョン、シリアルコード、モデル番を記録する
バルブサイクルと実行時間を記録する
圧力の公差範囲を設定する
サイクルライフ及び圧力制御を記録する
コントローラーパラメータをアップロードとダウンロード
停電保護
圧力ラーリング機能

APC butterfly valve for EtherCAT specification

Valve unit
Material	Body	304S.S. (*1)
	Plate	304S.S. (*1)
	Shaft	304S.S.
	Gate seal	Viton
	Shaft seal	Viton
Flange	KF、ISO、CF
Mounting position	Any
Cycles until first service	Closing / Opening	250,000 cycles
Cycles until first service	Pressure Control	2,000,000 cycles (*2)
Helium leak rate At 1 atm differential	< 1 x 10^-9 mbar．l/sec
Pressure range	1 x 10^-8 mbar to 1.2 bar
Operating temperature	Body	10°C to 110°C
Actuator	Step Motor
Standard accessories	RJ45 standard CAT5, CAT6, Not crossover. ( connection cable length available as an option)

(*1) Body and Plate material can choose aluminum alloy.

(*2) The Cycle life of valve is apply to room temperature 25°C and clean environment, and the opening action apply to be less than 10 mbar pressure difference. (If the opening action exceeds the pressure difference of 10 mbar, it is not covered by this guarantee.)

(*3) If there is particle issue in the working condition of the valve , please clean the valve plate and body regularly and apply some vacuum grease on these parts.

Control and actuating unit
Input voltage	+24 VDC (±10%)		connector: POWER
Power consumption	100W max. (Controller + Motor + Sensor + Power Failure)		connector: POWER
Sensor power supply output	+24 VDC /+-15VDC，500 mA		connector: SENSOR
Analog input
Q’ty of sensors	Independent 2 channel		connector: SENSOR
Input voltage	0-10V DC linear Physical quantity		connector: SENSOR
Resolution	12bit	2.3 mV	connector: SENSOR
	24bit	0.5 mV
Sampling rate	1 msec		connector: SENSOR
Input resistance	Ri = 21 kΩ		connector: SENSOR
Controller	≤ 70°C -24HR
Control accuracy	0.1% of maximum sensor range
Backup power	Yes
KF25,KF40,KF50,CF35
Closing time	<0.85sec
Opening time	<0.85sec
Valve max. torque	50kg-cm
Position resolution	8000 (steps 0-90 rotation)
ISO63, ISO80, ISO100, CF63, CF100
Closing time	<0.85sec
Opening time	<0.85sec
Valve max. torque	50kg-cm
Position resolution	8000 (steps 0-90 rotation)
ISO160, CF150
Closing time	<3.5sec
Opening time	<3.5sec
Valve max. torque	90kg-cm
Position resolution	2400 (steps 0-90 rotation)

バターフライバルブは常に隔離と流量調整の用途を使用されている。その製品の開閉構造はディスクの板で気流を開閉と調整する。操作方法はボールバルブと似て、迅速に開閉できる。製品の構造簡単で、重量も軽くて、製品の組立も容易である。

Htc vacuum(日揚科技)は各種なバターフライバルブを供給可能である。製品の特長は使用寿命が長いし、高品質と性能が良い。優れた設計構造で長い時間を使用して、修理必要がない。バターフライバルブの駆動方式は手動式、圧空式、自動圧力制御(APC)の3種類がある。修理しなくても可能である。

バターフライバルブを開閉した時、円いディスクの板が本体から飛び出すから、接続相手品の配管内径と干渉する恐れがある。そのため、製品を組合せる前、先ずの配管内径寸法をご確認下さい。