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真空バルブ

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真空アングルバルブ-手動式

真空Z型インラインバルブ-手動式

真空Y型インラインバルブ-手動式

真空アングルバルブ-圧空式

真空Z型インラインバルブ-圧空式

真空Y型インラインバルブ-圧空式

大型アングルバルブ

真空Z型インラインバルブ-圧空式

単動式Z型インライバルブ-ベローズシール-NWフランジ

単動式Z型インライバルブ-ベローズシール-CFフランジ(回転)

単動式Z型インライバルブ-軸シール-NWフランジ

単動式Z型インライバルブ-軸シール-CFフランジ(回転)

単動式Z型インライバルブ-ベローズシール-NWフランジ-センサー付き

単動式Z型インライバルブ-ベローズシール-CFフランジ回転-センサー付き

真空Z型インラインバルブの作動原理は軸がトップに推進すると、バルブの内部が開放状態におり、その時、エアが順調に流れる。一方、軸が弁体の底に押されると、Oリングがぴったりとバルブを封止して、エアの流れを切ることを達される。

日揚科技は様々の真空バルブ規格品を供給する。駆動方式にて手動式と圧空式の2種類である。軸シールとベローズシールも2種類である。接続フランジはKF、ISO、CFの3種類である。

応用産業は半導体から実験用の装置まで至るにも適用です。

ボディ: SUS304(他材質可能)
ポペット:SUS304(他材質可能)
接続ポート外径(OD): 3/4 ~ 8 インチ
ベローズ: 溶接ベローズ AM-350
ポジションインジケータ: オプション
電磁弁: オプション
シール: バイトン Oリング
リークレート: 2×10^-9 mbar-l/sec
使用圧力範囲: 1×10^-9 mbar 到1000 mbar
最大差圧: 1.2 Bar
圧縮空気圧: 4 ~ 6.5 kg/cm²
メンテナンスサイクル: 3/4 ～ 2 インチ -- 500,000 回 / 2.5 ～ 6 インチ -- 250,000 回

温度範囲:

べーキン温度	バルブ本体	ボンネット-Oリングシール	開 ≤ 100℃
			閉 ≤ 100℃
		ボンネット-金属シール	開 ≤ 200℃
			閉 ≤ 150℃
	手動又は圧空の駆動器		≤ 80℃

保証条件

保証期間は製品納入日から1年間以内、もしくは製品設定のサイクル回数以内
操作環境はエアー、不活性ガス及び真空である
自然災害や操作誤り等での損害及び消耗品は保証しない

JISフランジの製品も提供可能ですが、お気軽にお問合せまで、お問合せ下さい。

Htcは真空バルブ製品の品質と応用効率を高めるため、圧空式バルブのシリンダがアルミ製のを変更させて頂きます。

アルミ製のシリンダが一体成形加工でシリンダの精度を確保されます。

アルミ製のシリンダを変更する製品サイズは2”以内のアングル型式、Yインライ型式、Zインライ型式です。すなわち、NW(16、25、40、50)とCR(16、35)のサイズです。63以上のサイズは従来の通りで変更しません。

真空バルブは製品の材質と形状にてアングルバルブ、ゲートバルブ、ボールバルブ、逆止弁、バタフライバルブなどを含めている。操作の方法にて手動式、圧空式また電動式を分けている。それらの真空バルブは性能と用度の違いによって、それぞれ初真空、低真空、高真空又は超高真空の環境で使われている。

Htc Vacuum(日揚科技)の真空バルブは半導体、FPD等を汎用されている。

JIS規格のフランジや大口径を特製する可能だから、お気軽にec@high-light.com.twまでご連絡下さい。

真空バルブ

閥門本體: 304 S.S. (Other material available upon request)
閥芯: 304 S.S. (Other material available upon reques)
波紋管: Welded AM-350 (option)
電磁閥: Option
位置指示器: Option
密封件: Viton Oring
洩漏率: 2x10-9 mbar.l/sec
壓力範圍: 1x10-9 mbar 到1000 mbar Viton seal bonnet
打開前的最大壓力: 1.2 bar
打開氣壓: 4~6.5 kg/cm2
作動壽命:
16 to 50~500,000 ; 63 to 150~250,000 ; 200 to 250~80,000
No Bellows type: 10 to 50~200,000 ; 63 to 250~100,000 (Depend on Oring condition)
No Bellows type suggest to install in vertical orientation

温度範圍:

閥本體	O形環密封 Oring bonnet seal	開 Open ≤ 100℃
		關 Close ≤ 100℃
	金屬密封 Metal bonnet seal	開 Open ≤ 200℃
		關 Close ≤ 150℃
手動和氣動 Manual and pneumatic actuator		≤ 80℃

大型或特殊尺寸的真空閥門可依需求訂製