オールメタルバルブ

オールメタルバルブの構造は全ての部品が金属の材質で、超高真空の装置にプロセスにて装置が加熱必要で、オールメタルバルブが良い選択です。メタルシールで最高温度は300~400℃まで対応できます。

Htc Vacuum(日揚科技)は提供しているオールメタルバルブがアングルとストレート及びミニーの３つタイプです。お客様は装置の設計スベースにて最適の型式を選択できます。

アングル  & ストレートタイプ

• 許容温度 :400℃(オープン), 300℃(クローズ)
• 圧力範囲 : 1x10^-10mbar から 1000 mbar まで
• 全てステンレスス製
• リークレート : 5x10^-10mbar·l/sec
• 閉鎖トルク :
  -- CR16 初回 150kg-cm, 最大閉鎖トルク 250kg-cm
  -- CR35 初回 300kg-cm, 最大閉鎖トルク 600kg-cm
  -- CR63 初回 300kg-cm,最大閉鎖トルク 900 kg-cm
  
  
• サイクルライフ(ガスケットシール)：
  　CR16 : 垂直/水平インストール方向300回
  　CR35 : 垂直/水平インストール方向300回
  　CR63 : 垂直インストール方向300回 水平インストール方向100回
  
  
• 取付方向 : 任意

ミニータイプ-CR16

• 許容温度 :400℃(オープン), 300℃(クローズ)
• 圧力範囲: 1x10^-10mbar~1000mbar
• 全てステンレスス製
• ベローズシール
• リークレート: 5x10^-10 mbar.l/sec
• 閉鎖トルク: CR16 初回 90~120kg-cm, 最大閉鎖トルク 200kg-cm
• サイクルライフ(ガスケットシール) : 1,000回
• 取付方向: 任意