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真空ゲートバルブ
※ Please select product classify ※
超高真空ゲートバルブ
(潤滑油塗布無し)
手動式小型-UHV ゲートバルブ(Lタイプ)
圧空式小型-UHV ゲートバルブ(Lタイプ)
圧空式-UHV ゲートバルブ(Lタイプ)
手動式-UHV ゲートバルブ(Bタイプ)
圧空式-UHV ゲートバルブ(B タイプ)
圧空式小型-UHV ゲートバルブ(Lタイプ) リミットスイッチ付け
圧空式-UHV ゲートバルブ(B タイプ)-リミットスイッチ付け
圧空式大型-CF275フランジ ゲートバルブ(Lタイプ) リミットスイッチ付け
圧空式大型-CF300フランジ ゲートバルブ(Lタイプ) リミットスイッチ付け
ゲートバルブは駆動部、搬送部、ゲートと弁体を構成している。駆動方法は手動式と圧空式の2種類である。UHVゲートバルブは潤滑油を塗布しないから、超高真空のプロセス装置の使用に最適である。サイズ63以上の製品はインジケータのリングを付けて、バルブの開閉状態は目視できる
Htc Vaccum(日揚科技)は供給している真空ゲートバルブは全て真空装置や真空排気システム、実験研究装置に適用する。
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材質 |
本体 |
SUS304 |
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搬送部 |
Linkage type |
SUS304 |
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Ball type Size under 10” |
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| Ball type Size above 10”(included) | SUS304、A6061-T6 | |||||
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ゲート |
Linkage type |
SUS304 |
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|
Ball type Size under 10” |
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| Ball type Size above 10”(included) | A6061-T6 | |||||
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ベローズ |
AM350 |
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寿命 |
サイズ 4” (含む)以内 |
10万回 |
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サイズ 4” 以上 |
5万回 |
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1気圧の差圧でヘリウムリークレート |
＜5×10-10 mbar. l /sec -ガスケットシール |
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べーキン温度 |
バルブ本体 |
開 |
200℃ メタルボンネットシール |
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閉 |
150℃ メタルボンネットシール |
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手動及び圧空の駆動部 |
≤ 80℃ |
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圧力範囲(mbar) |
1x10-10 ～ 1000 mbar. l /sec |
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最大差圧 ΔP(mbar) |
開く前 27mbar |
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規格シール |
ゲート |
バイトンOリング |
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ボンネット |
OFHC ガスケット |
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駆動器 |
圧空式 或は 手動式 |
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エアー供給接続チューブ |
Ø6 mm |
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表面処理 |
スコッチ研磨 |
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オプション |
a. ポジジョンインジケーター |
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| リミットスイッチコネクター | D-sub Female 9 pins Current Rating | 3A 110VAC | ||||
| 5A 24VDC | ||||||
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ゲートバルブは常に実験研究の装置に使用している。バルブを取付ける前、バルブに残留ガス分析計(RGA)でガス放出状況を確認必要である。Htc Vacuum(日揚科技)のRGA測定システムはインフィコン製のMPH100Mの残留ガス分析計を設置している。その分析計は業界最高の測定速度、最小検知分圧及びS/N比を実現できる。そのため、顧客はRGAを測定の要望がある場合、RGA測定レポートを提供可能である。測定費用は別途にお気軽にお問合せ下さい。 
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保証条件
- 保証期間は製品納入日から1年間以内、もしくは製品設定のサイクル回数以内
- 操作環境はエアー、不活性ガス及び真空である
- 自然災害や操作誤り等での損害及び消耗品は保証しない
- お客様のご使用後、目視で粉塵が確認された場合、この状況は保証対象外となります
大口径或は特製サイズを製造可能である。ご要望の規格を ec@high-light.com.twまでご連絡下さい。
真空ゲートバルブは常に配管と接続か遮断を使用している。そのため、真空ゲートバルブは真空装置の配管に不可欠な役割を果たす。
Htc vacuum(日揚科技)のゲートバルブは。操作方式にて手動式及び圧空式の2種類がある。優れた製造精度と安定な品質で各種な高真空及び超高真空の環境に満足できる。
Htc vacuum(日揚科技)は各寸法のゲートバルブを提供可能です。接続フランジはKF、ISO、CF等以外、JIS規格の特製フランジでも可能です。
応用範囲：真空排気システム、高真空等応用の排気システム、半導体の真空装置、研究用の真空装置等。
Advanced service and support
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Htc vacuum(日揚科技)のゲートバルブは顧客の応用を応じて特製品を製造可能です。左の写真の様に手動の規格品に弁体に粗引きのポートを追加加工して、顧客の特製品になった。 何が特殊なニーズがありましたら、お気軽でメールしてください。製品のサイズやポート繋ぎ式等を検討可能です。 |
ゲートバルブは常に実験研究の装置に使用している。バルブを取付ける前、バルブに残留ガス分析計(RGA)でガス放出状況を確認必要である。Htc Vacuum(日揚科技)のRGA測定システムはインフィコン製のMPH100Mの残留ガス分析計を設置している。その分析計は業界最高の測定速度、最小検知分圧及びS/N比を実現できる。そのため、顧客はRGAを測定の要望がある場合、RGA測定レポートを提供可能である。測定費用は別途にお気軽にお問合せ下さい.
