真空閘閥
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超高真空閘閥(不塗潤滑油)
手動連桿式-小型-超高真空閘閥
氣動連桿式-小型-超高真空閘閥
氣動連桿式-超高真空閘閥
手動式超高真空閘閥B-Type(鋼珠式)
氣動式超高真空閘閥B-Type(鋼珠式)
小型-超高真空閘閥-氣動連桿式含波紋管與極限開關
超高真空閘閥-氣動鋼珠式真空閘閥含波紋管和極限開關
CF275 超高真空閘閥-氣動連桿式含波紋管與極限開關
CF300 超高真空閘閥-氣動連杆式含波紋管與極限開關
超高真空閘閥-UHV gate valve的組成主要由三個元件組成分別為驅動器,閥車/閥門與閥體。Htc日揚真空(Htc Vacuum)所提供的閘閥可分成應用于高真空與超高真空兩大類, 用於超高真空系統使用的閘閥是屬旋轉式直線作動。藉手動或氣動的驅動閥杆來驅動真空閥門齒輪以達閘門之開闔功能。真空閘閥含有波紋管與無波紋管。介面端可配置KF, ISO, ANSI, JIS與CF法蘭。
Htc日揚真空(Htc Vacuum)設計的所有系列真空閘閥適用於真空排氣系統，超高真空應用的抽氣系統，半導體技術，同步幅射中心與學術研究系統等。
規格說明
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材質 |
本體 |
SUS304 |
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閥車 |
連桿式 |
SUS304 |
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鋼珠式10”以下 |
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| 鋼珠式10”以上 (含) | SUS304、A6061-T6 | |||||
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閘門 |
連桿式 |
SUS304 |
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鋼珠式10”以下 |
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| 鋼珠式10”以上 (含) | A6061-T6 | |||||
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波紋管 |
AM350 |
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使用壽命 |
4吋(包含)以下 |
100,000 cycles |
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4吋以上 |
50,000 cycles |
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1大氣壓力下之漏率 |
<5x10-10 mbar. l /sec for gasket seal |
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耐溫限制 |
閥門本體 |
開 Open |
200℃ metal bonnet seal |
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關 Closed |
150℃ metal bonnet seal |
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手動式和氣動式之驅動器 |
≤ 80℃ |
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使用壓力範圍(mbar) |
1x10-10 ～ 1000 |
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最大使用壓差 ΔP(mbar) |
開啟前 27mbar |
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標準密封 |
閘門 |
Viton O-ring |
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閥蓋 |
OFHC copper gasket |
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驅動器 |
手動式或氣動式 |
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氣壓源 |
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表面處理 |
表面抛砂處理 |
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選配 |
a. 位置指示器 |
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| 極限開關連接 | D-sub Female 9 pins Current Rating | 3A 110VAC | ||||
| 5A 24VDC | ||||||
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保固條件
- 自客戶收到貨品起一年內, 或到達產品設定的使用次數, 先到者為準
- 操作環境限於空氣, 惰性氣體及真空
- 因天然災害, 錯誤操作造成的損壞及消耗品不在保固範圍內
Htc日揚真空所提供的真空閘閥又分為手動式與氣動式兩種具優越的製造精度和穩定品質，因而可滿足各種高真空與超高真空的設備製程環境。這些真空閘閥還可配合與低溫泵、分子泵或任何須要極度潔淨高生命週期及低維護的製程。Htc日揚真空可提供的各式接口法蘭，如KF、ISO、ANSI、CF的真空閘閥。亦可提供特製規格真空閘閥之製作。
真空閘閥閥體精密焊接製造, 受力均勻、密封可靠、結構緊湊、強度高的材料和使用真空環境要求, 達到高真空、超高真空、超潔淨、超長使用壽命。
產品應用
真空閘閥通常用來接通或阻斷管路中的介質，適用於壓力及口徑範圍較大的配管中，因此在很多真空設備的配線管路中真空閘閥皆扮演不可或缺的角色。
產品分類
l 小型超高真空閘閥 Mini-UHV-gate valves (L type)
l 小型高真空閘閥Mini-HV-gate valves (L type)
l 超高真空閘閥UHV gate valves (L type)
l 高真空閘閥HV gate valves (L type)
l 鋼珠式超高真空閘閥UHV gate valves (B type)
l 鋼珠式高真空閘閥HV gate valves (B type)
詳細請參閱本公司網站上真空閘閥產品型錄，或來函聯絡我們詢問。
保固條件
- 自客戶收到貨品起一年內, 或到達產品設定的使用次數, 先到者為準
- 操作環境限於空氣, 惰性氣體及真空
- 因天然災害, 錯誤操作造成的損壞及消耗品不在保固範圍內
