無油渦卷式真空泵
無油渦卷式真空泵為小尺寸、高性能及低成本的最佳組合,設計用於清潔製程中快速、實用的真空泵,不適用於易爆裂、易燃、有毒、腐蝕性物質或含有粉末顆粒的製程使用。
於潮濕環境中抽取冷凝蒸氣或從大氣壓力抽至真空(例:如果相對濕度超過60%),您必須先使用泵所附帶的氣鎮。該泵是藉由氣冷搭配時數器以冷卻。重量輕、無油且只需偶爾的日常維護。
產品案例
ISP 500C
產品特色
- 極限壓力低
- 抽氣速度快
- 零污染,無須油保養
- 高性價比
- 最大入口壓力達 760 Torr
ISP-500C 無油渦卷式真空泵 規格圖
ISP-500C 無油渦卷式真空泵 技術資料
替換率 |
|
50 Hz |
30 m3h-1 / 17.6 ft3min-1 |
60 Hz |
36 m3h-1 / 21.2 ft3min-1 |
最高抽氣速度 |
|
50 Hz |
25 m3h-1 / 16.1 ft3min-1 |
60 Hz |
30 m3h-1 / 17.6 ft3min-1 |
最大真空度 |
1 x 10-2 mbar / 7.5 x 10-3 Torr |
入口連接 |
NW40 |
出口連接 |
NW25 |
入口可承受最大壓力 |
1000 mbar |
出口可承受最大壓力 |
1150 mbar |
電機功率 |
0.6 kW |
電源供應 |
|
1-phase, 50Hz |
100/200/230 V |
1-phase, 60Hz |
100/115/200/230 V |
3-phase, 50Hz |
200/380/415 V |
3-phase, 60Hz |
200/208/230/460 V |
Recommended contactor rating, 3-ph |
|
200-230 V |
5 A |
380-460 V |
3 A |
防護等級 |
IP44 |
密封性能(靜態) |
10-4 mbar l s-1 |
作動溫度範圍 |
5 to 40 °C / 41 to 104 °C |
重量 |
|
3-phase pump |
40 kg / 88 lbs |
1-phase pump |
25 kg / 55 lbs |
ISP 500C 無油渦卷式真空泵 應用
- 掃描式電子顯微鏡
- 離子植入(電子束及終端裝置)
- 一般清潔的抽真空應用
- 濺鍍
- 渦輪分子泵的前級泵
- 稀有氣體再循環
- 膠材乾燥
- 旋轉蒸鍍設備
- 離心濃縮
- 真空爐
- 手套箱
- 真空腔體粗抽使用