鐘擺閥
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氣動式鐘擺閥(單動)
氣動鐘擺閥(單動)
材質 |
本體 |
A6061-T6 |
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閘板 |
A6061-T6 |
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開關壽命 |
200,000 次 |
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氦氣洩漏率 (一大氣壓壓差) |
本體,鋁合金 |
<1×10-9 mbar .l /sec |
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本體,鋁合金,超硬陽極處理 |
<1×10-5 mbar .l /sec |
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烘烤溫度 |
本體 |
≤ 120 ℃ |
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驅動器 |
≤ 80 ℃ |
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電磁閥 |
≤ 50 ℃ |
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壓力範圍 |
鋁合金 |
1×10-8 mbar to 1.2 bar |
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鋁合金,超硬陽極處理 |
1×10-6 mbar to 1.2 bar |
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最大壓差 |
1.2 bar |
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開啟前最大壓差 |
≤ 5 mbar |
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壓縮空氣壓力 |
4 ~ 6 Kg/cm² |
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本體洩壓時間 (秒) |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
ISO 400 |
0.9 |
1.0 |
1.1 |
2 |
|
閘板位移時間 開 à 關 (秒) |
2.0 |
2.0 |
2.0 |
3.5 |
閘板位移時間 關 à 開 (秒) |
1.0 |
1.0 |
1.0 |
3 |
密封圈材質 |
閘板 |
Viton O-ring |
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閥蓋 |
Viton O-ring |
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聯通軸 |
Viton O-ring |
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聯通軸 |
旋轉聯通軸 |
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驅動器 |
電動氣缸 (常閉) |
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位置指示器 |
簧片傳感器 |
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重量 |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
ISO 400 |
21Kg |
31Kg |
51Kg |
70 Kg |
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安裝方向 |
水平或垂直 |
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選配 |
ISO 200 ~ 320 |
a. 其他密封圈材質 b. 加熱器 |
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ISO 400 |
a. 其他密封圈材質 |
控制器外部接線
[注意] 建議使用24AWG電線
氣動Pendulum Valve主要應用在製程真空室和渦輪分子泵入口之間安裝一個大的節流閥。Htc日揚真空鐘擺閥表面處理設計結構有素材面或陽極硬膜構成,具有耐腐蝕,灰塵少的特點。它可用於ISO200, ISO250, ISO320法蘭, 尺寸為8", 10", 12" 的ISO閥門, 其作動方式有氣動和APC模式兩種。此閥門為一般的閘閥(Gate Valve)或是鐘擺閥(Pendulum Valve)之類的設計, 產品應用在OLED, FPD, and PV工業製作系統。