真空蝶閥
※ 請選取產品分類項 ※
Htc日揚真空三位置真空蝶閥由旋轉氣缸閥驅動。 Htc日揚真空三位置蝶閥具有三位置功能,安裝方便,體積小,壽命長。三位置真空蝶閥開度可設定為0-90°。三位置蝶閥的主要應用是在真空環境設備系統過程中完全隔離污染和腐蝕性氣體。 蝶閥位於真空泵和真空腔體處理室之間,可以設置第3位置以改變電導。
主應用
緊湊型隔離閥板,用於高傳導清潔過程。
有第三個位置來改變電導。 一個蝶閥擁有兩個真空碟閥功能。
應用製程產業
- FPD 平面顯示器
- SEMI 半導體
- PVD 物理氣相沉積
真空蝶閥(Vacuum Butterfly Valve)的功能通常是阻絕或是調節流量, 其關閉的機構主要為一個圓型片, 操作的方式旋轉閥軸杆同時帶動圓型碟片轉動來做啟閉, 可以快速的開啟或關閉, 蝶閥受到歡迎的主要原因是重量比較輕, 就不需要太多的支撐。
Htc日揚真空提供許多種真空蝶閥具備蝶閥本體與控制器, 特色為具備蝶閥開合度調節真空壓力, 使用壽命長, 高品質以及高效能, 由於堅固的機構設計可以數年連續使用閥門而無須維修. 蝶閥閥門驅動的方式有手動, 氣動和馬達帶動等不同方式, 客戶可以視實際的應用來選購適合的蝶閥。
有一個特別注意事項就是當蝶閥閥門全開後, 若見到圓型片是突出於閥體之外時, 此圓形片有可能會與連接在蝶閥兩端的管子內部表面干涉, 故建議使用者在安裝之前先確認欲安裝的管子內徑是否符合蝶閥型錄規格表中的最小尺寸。