鐘擺閥
※ 請選取產品分類項 ※
APC 鐘擺閥影片簡介
APC 鐘擺閥閘板系統設定
1. 閥門
2. 製程腔體
3. 進氣口
4. 壓力傳感器
5. 傳感器連接線
6. 控制器和執行器
7. 連接遙控器
8. 連接電源
9. 真空泵
主要應用
高科技製程後段壓力控制和隔離閥應用產業
>> SEMI - 半導體>> FPD - 光電面板
>> CVD - 化學氣相沉積
>> Solar - 太陽能
APC鐘擺閥特點
- 集成整合壓力控制
- 精確的壓力控制
- 密實的隔離
- 反應時間快
- 友善簡易操作使用介面
APC鐘擺閥連接埠
項目 |
連結 |
樣式 |
電源 |
電源輸入 |
DB-9 male |
傳感器 |
真空計線性電壓輸入/ 真空計電壓供應 |
DB-15 female |
介面 |
RS232 RS485(選配) |
DB-25 female |
傳送 |
電腦連接埠 |
Mini USB type B female |
監控 |
顯示狀態 |
Green LED display |
產品規格
- 真空計電壓 : 24V DC or ±15V DC
- 備用電源 : Yes
- 真空計輸入
- 真空計數量:2 pcs
- 真空計數值: 線性 / 指數 t
- 真空計輸出電壓:0-10V DC 線性壓力
- 輸入電阻:Ri=21 k Ω
- 分辨率:2.3 mV
- 採樣時間:1ms - 控制精度:真空計最大量程的 0.1%
- 模擬\通訊簡易控制
- 位置分辨率:8000 (step 0-75° rotation)
- 環境温度: 70°C max(控制器可持續 -24HR)
APC 軟體功能
使用APC軟體可提供便利操作功能通過電腦控制
- 設置控制參數的調整: GAIN
- 壓力和位置控制模式
- 附表測試模式=> 1 cycle schedule
- 設置閥打開/關閉速度
- 記錄APC 硬體/軟體版本, 序列號和型號
- 記錄閥門循環和運行時間
- 設置公差範圍的壓力
- 循環壽命和壓力控制記錄
- 控制器參數上傳和下載
- 斷電保護功能
- 螢幕截圖
控制和執行單元 |
||
輸入電壓 |
+24 VDC(±10%) |
連接器: POWER |
功率消耗 |
150W(controller + motor) |
連接器: POWER |
真空計電源輸出 |
+24 VDC /+-15VDC, 500 mA |
連接器: SENSOR |
類比輸入 |
||
真空計數量 |
獨立兩頻道 |
連接器: SENSOR |
輸入電壓 |
0-10V DC linear |
連接器: SENSOR |
解析度 |
2.3 mV |
連接器: SENSOR |
輸入電阻 |
Ri=21kΩ |
連接器: SENSOR |
類比輸出 |
||
真空計數量 |
獨立兩頻道 |
連接器: INTERFACE |
輸出電壓 |
0-10V DC linear |
連接器: INTERFACE |
數位輸出/入 |
||
輸入 |
獨立兩頻道 |
連接器: INTERFACE |
輸出 |
獨立兩頻道 |
連接器: INTERFACE |
可接受工作溫度 |
||
閥門本體 |
120 ℃ |
|
控制器 |
70 ℃ |
|
控壓精度 |
0.1% of maximum sensor range |
|
位置分辨率 |
8000 (step 0-90〫rotation) |
|
備用電源 |
Yes |
|
ISO 200 |
||
關閉時間 |
<1.2sec |
|
開啟時間 |
<1.2sec |
|
閥門最大扭拒 |
270kg-cm |
|
ISO 250 |
||
關閉時間 |
<1.2sec |
|
開啟時間 |
<1.2sec |
|
閥門最大扭拒 |
880kg-cm |
|
ISO 320 |
||
關閉時間 |
<3.0sec |
|
開啟時間 |
<3.0sec |
|
閥門最大扭拒 |
880kg-cm |
規格數據 |
||||||
材質 |
本體 |
A6061-T6 |
||||
閥板 |
A6061-T6 |
|||||
使用壽命 |
關閉/開啟壽命 |
200,000 cycles |
||||
壓力控制壽命 |
1,000,000 cycles |
|||||
氦氣洩漏率(一大氣壓壓差) |
本體 |
<1×10-9 mbar .l /sec |
||||
本體 |
<1×10-5 mbar .l /sec |
|||||
烘烤温度 |
本體 |
≤ 120 ℃ |
||||
驅動器 |
≤ 70 ℃ |
|||||
控制盒 |
≤ 70 ℃ |
|||||
壓力範圍 |
鋁合金 |
1×10-8 mbar to 1.2 bar |
||||
鋁合金 ,超硬陽極處理 |
1×10-6 mbar to 1.2 bar |
|||||
最大壓差 |
1.2 bar |
|||||
開啟前壓差 |
≤ 5 mbar |
|||||
壓縮空氣壓力 |
4 ~ 6 Kg/cm² |
|||||
開/關時間(秒) |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
|||
1.2/1.2 |
1.2/1.2 |
2.0/2.0 |
||||
密封圈材質 |
閥板 |
Viton O-ring |
||||
閥蓋 |
Viton O-ring |
|||||
重量 |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
|||
22Kg |
31Kg |
51Kg |
||||
驅動器 |
步進馬達 |
|||||
安裝位置 |
水平 / 垂直 |
水平 |
||||
選配 |
A. 其他密封圈材質 |
氣動Pendulum Valve主要應用在製程真空室和渦輪分子泵入口之間安裝一個大的節流閥。Htc日揚真空鐘擺閥表面處理設計結構有素材面或陽極硬膜構成,具有耐腐蝕,灰塵少的特點。它可用於ISO200, ISO250, ISO320法蘭, 尺寸為8", 10", 12" 的ISO閥門, 其作動方式有氣動和APC模式兩種。此閥門為一般的閘閥(Gate Valve)或是鐘擺閥(Pendulum Valve)之類的設計, 產品應用在OLED, FPD, and PV工業製作系統。