真空腔體配件零組件
Htc日揚真空腔體配件零組件擁有好品質和價格, 提供給澳洲、美國、南非、英國、馬來西亞、俄羅斯、歐洲等全世界各國真空腔體設備製程產業。除此之外, 真空腔體必搭真空泵或真空泵維修零件包, 透過Htc日揚真空24小時全年待命真空維修服務機制, 依客戶需求提供高效率、多樣彈性化支援服務。真空腔體密封件提供從腔室的內部真空到外部腔環境的無洩漏(或可接受的洩漏率)密合。 腔體密封件適用於所有類型的真空腔體有兩類:一類是高真空腔體密封件 - Viton或NBR oring,另一類是超高真空室密封件 - 無氧銅墊片。
真空腔體與超真空腔體上會焊接加工真空視窗, 以利透過真空視窗觀察腔體內高温、製程鍍膜運作, 亦可依客戶提供的圖面或規格特別訂作製造。真空觀察視窗材質有強化玻璃、石英玻璃和藍寶石, 耐溫差及耐氣壓衝擊性, 安全確認真空腔體內部的狀況必備真空腔體配件零組件。
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