鐘擺閥
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3位置鐘擺閥含傳感器提供真空壓力控制
Htc日揚真空3位置鐘擺閥通過可調控制氣缸實現真空隔離和真空壓力控制。 真空鐘擺動閥連接了傳感器，讓控制器可以讓閥門打開，關閉或到第三個位置，提供更好的設定點精確度和可重複性控制功能。Htc日揚真空鐘擺閥具有高性能真空壓力控制系統，控制節流擺閥板可做開關動作，調整閘板開口大小及調整壓力(手動), 主要設計用來取代傳統的線性作動真空閘閥，以更少的移動零件、更少金屬與金屬間的摩擦，就能讓粉塵減少。以Htc日揚真空鐘擺閥的安裝也比傳統的真空閘閥方式只需要更少的空間即能便利安裝。
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材質 |
本體 |
A6061-T6 |
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閥板 |
A6061-T6 |
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開關壽命 |
200,000 cycles |
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氦氣洩漏率 (一大氣壓壓差) |
本體 鋁合金 |
＜1×10-9 mbar .l /sec |
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本體 鋁合金 ,超硬陽極處理 |
＜1×10-5 mbar .l /sec |
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烘烤温度 |
本體 |
≤ 120 ℃ |
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驅動器 |
≤ 80 ℃ |
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電磁閥 |
≤ 50 ℃ |
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壓力範圍 |
鋁合金 |
1×10-8 mbar to 1.2 bar |
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鋁合金 ,超硬陽極處理 |
1×10-6 mbar to 1.2 bar |
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最大壓差 |
1.2 bar |
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開啟前壓差 |
≤ 5 mbar |
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壓縮空氣壓力 |
4 ~ 6 Kg/cm² |
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開 / 關時間(秒) |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
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1.2/1.2 |
1.2/1.2 |
2.0/2.0 |
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密封圈材質 |
閥板 |
Viton O-ring 密封圈 |
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閥蓋 |
Viton O-ring 密封圈 |
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驅動器 |
氣動氣缸與手動旋鈕 |
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重量 |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
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22Kg |
32Kg |
52Kg |
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安裝位置 |
水平或垂直 |
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選配 |
a. 其他密封圈材質 |
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控制器外部接線
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腳位 Pin |
功能 |
狀態 |
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1 |
電源+24VDC |
電源 P |
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2 |
電源接地-0VDC |
電源 P |
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3 |
開 訊號輸入 |
輸入 I |
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4 |
關 訊號輸入 |
輸入 I |
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5 |
第三段 訊號輸入 |
輸入 I |
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6 |
不使用 |
不使用 x |
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7 |
開 訊號輸出 |
輸出 O |
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8 |
關 訊號輸出 |
輸出 O |
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9 |
電源+24VDC |
電源 P |
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10 |
電源接地-0VDC |
電源 P |
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11 |
第三段A 訊號輸出 |
輸出 O |
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12 |
第三段B 訊號輸出 |
輸出 O |
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13 |
不使用 |
不使用 x |
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14 |
不使用 |
不使用 x |
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氣動Pendulum Valve主要應用在製程真空室和渦輪分子泵入口之間安裝一個大的節流閥。Htc日揚真空鐘擺閥表面處理設計結構有素材面或陽極硬膜構成，具有耐腐蝕，灰塵少的特點。它可用於ISO200, ISO250, ISO320法蘭, 尺寸為8", 10", 12" 的ISO閥門, 其作動方式有氣動和APC模式兩種。此閥門為一般的閘閥(Gate Valve)或是鐘擺閥(Pendulum Valve)之類的設計, 產品應用在OLED, FPD, and PV工業製作系統。
