真空閥門
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大型角閥閥門
ISO法蘭手動有波紋管
CF法蘭手動有波紋管
ISO法蘭手動無波紋管
CF法蘭手動無波紋管
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ISO法蘭氣動雙動有波紋管
CF法蘭氣動雙動有波紋管
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ISO法蘭氣動雙動無波紋管
CF法蘭氣動雙動無波紋管
Htc日揚真空專業訂製大型真空角閥用於大直徑大尺寸的高真空系統或超高真空系統，標準大型尺寸從ISO100到ISO250或CF100到CF250，可提供單位生產、小批量和持別訂製真空角閥產品的標準角閥產品。 標準大型角度閥可具有真空金屬波紋管或不含金屬波紋管，使手動或氣動作動活塞與真空隔離，能夠打開和關閉控制真空角閥運作。 閥板採用Viton O形圈密封，用於ISO大型閥門，另外採OFHC CF 無氧銅墊片密封用於CF大型閥門。大型真空角閥可用於HV高真空和UHV超高真空真空範圍。
有任何相關真空需求或問題，歡迎聯繫我們，Htc日揚真空將為您提供解決方案。
保固條件
- 自客戶收到貨品起一年內, 或到達產品設定的使用次數, 先到者為準
- 操作環境限於空氣, 惰性氣體及真空
- 因天然災害, 錯誤操作造成的損壞及消耗品不在保固範圍內
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氣動真空閥門變更氣缸為鋁合金氣缸對產品品質提升及客戶應用效益:
- 產品品質提升: 鋁合金汽缸一體成形加工,更能確保汽缸精度質量
Angle / Z-inline / Y-inline 氣缸型式改變鋁合金的規格有: 16/25/40(35)/50
63以上並未修改
真空閥門的種類有角閥、擋板閥、閘閥、球閥、止回閥、蝶閥、鋁合金閥...等，操作方式通常會有手動、氣動及電動三種。這些真空閥門會依其功能性質的不同，分別被使用於粗真空、低真空、高真空及超高真空等不同真空環境。
真空閥門廣泛應用於光電半導體精密製程、先進之TFT-LCD、薄膜太陽能、太陽能電池製程高真空腔體基本構造。
特殊規格真空閥門的客製或訂製，歡迎來函ec@high-light.com.tw洽詢。
真空閥門規格
- 閥門本體: 304 S.S. (Other material available upon request)
- 閥芯: 304 S.S. (Other material available upon reques)
- 波紋管: Welded AM-350 (option)
- 電磁閥: Option
- 位置指示器: Option
- 密封件: Viton Oring
- 洩漏率: 2x10-9 mbar.l/sec
- 壓力範圍: 1x10-9 mbar 到1000 mbar Viton seal bonnet
- 打開前的最大壓力: 1.2 bar
- 打開氣壓: 4~6.5 kg/cm2
- 作動壽命:
Bellows type: 16 to 50~500,000 ; 63 to 150~250,000 ; 200 to 250~80,000
No Bellows type: 10 to 50~200,000 ; 63 to 250~100,000 (Depend on Oring condition)
No Bellows type: Suggest to install in vertical orientation - 烘烤温度範圍:
閥本體 O形環密封 Oring bonnet seal 開 Open ≤ 100℃ 關 Close ≤ 100℃ 金屬密封 Metal bonnet seal 開 Open ≤ 200℃ 關 Close ≤ 150℃ 手動和氣動 Manual and pneumatic actuator ≤ 80℃ - 大型或特殊尺寸的真空閥門可依需求訂製
