真空電引入
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磁流體密封裝置
法蘭實心軸磁性軸封
前端螺紋實心軸磁性流體軸封
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單軸無法蘭磁性流體軸封
螺帽夾緊型磁性流體軸封
半導體設備用磁性流體密封轉軸
半導體設備用磁性流體密封轉軸附冷卻水路
空心型磁性流體軸封
空心型含法蘭磁性流體軸封
空心型帶法蘭磁性流體軸封附冷卻水路
Htc日揚真空提供優質磁流體密封裝置為單晶矽爐、鍍膜設備、化學氣相沉積、液晶再生、電子指示器、熱處理爐等超高真空系統及對環境要求較高的設備使用.
從低速到高速-低壓到高壓, 均能滿足各種設備作業上需求.
真空度: 10-6Pa
洩漏率: 10-12Pa·m3/sec
真空電引入通常分為三大類別: 分別為電引入(electrical feedthrough), 機械引入(mechanical feedthrough), 流體引入(fluid feedthrough), 真空電引入的基本要求是電絕緣與真空封合。依照真空設備用途不同，常用的絕緣材料包含玻璃、塑膠、與陶瓷，而真空封合的好壞則極度依賴電極與絕緣材間的封合技術。金屬與玻璃的接合常見於真空計， 陶瓷金屬的接合則廣用於高電壓的場合。
用於真空系統的設備中能縮短製造真空產品設備時程，可有效防止怼靈活彈性的配合度依不同真空元作尺寸及環境需求設計製造。
為了提供更好的服務，Htc日揚真空可依客戶規格需求製作真空電引入，舉凡電流、電壓、PIN腳數目、法蘭尺寸等都可客製化，歡迎線上詢問聯絡我們。
