真空電引入
真空電引入通常分為三大類別: 分別為電引入(electrical feedthrough), 機械引入(mechanical feedthrough), 流體引入(fluid feedthrough), 真空電引入的基本要求是電絕緣與真空封合。依照真空設備用途不同,常用的絕緣材料包含玻璃、塑膠、與陶瓷,而真空封合的好壞則極度依賴電極與絕緣材間的封合技術。金屬與玻璃的接合常見於真空計, 陶瓷金屬的接合則廣用於高電壓的場合。
用於真空系統的設備中能縮短製造真空產品設備時程,可有效防止怼靈活彈性的配合度依不同真空元作尺寸及環境需求設計製造。
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