真空贯通件
真空贯通件通常分为三大类别: 分别为电贯通件(electrical feedthrough), 机械贯通件(mechanical feedthrough), 流体贯通件(fluid feedthrough), 真空电贯通件的基本要求是电绝缘与真空封合。依照真空设备用途不同,常用的绝缘材料包含玻璃、塑料、与陶瓷,而真空封合的好坏则极度依赖电极与绝缘材间的封合技术。金属与玻璃的接合常见于真空计, 陶瓷金属的接合则广用于高电压的场合。
用于真空系统的设备中能缩短制造真空产品设备时程,可有效防止怼灵活弹性的配合度依不同真空元作尺寸及环境需求设计制造。
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