无油涡卷式真空泵
无油涡卷式真空泵为小尺寸、高性能及低成本的组合,设计用于清洁制程中快速、实用的真空泵,不适用于易爆裂、易燃、有毒、腐蚀性物质或含有粉末颗粒的制程使用。
于潮湿环境中抽取冷凝蒸气或从大气压力抽至真空(例:如果相对湿度超过60%),您必须先使用泵所附带的气镇。该泵是借由气冷搭配时数器以冷却。重量轻、无油且只需偶尔的日常维护。
产品细项
ISP 500C
产品特色
- 极限压力低
- 抽气速度快
- 零污染,无须油保养
- 高性价比
- 最大入口压力达 760 Torr
ISP-500C 无油涡卷式真空泵 规格图
ISP-500C 无油涡卷式真空泵 技术资料
替换率 |
|
50 Hz |
30 m3h-1 / 17.6 ft3min-1 |
60 Hz |
36 m3h-1 / 21.2 ft3min-1 |
最高抽气速度 |
|
50 Hz |
25 m3h-1 / 16.1 ft3min-1 |
60 Hz |
30 m3h-1 / 17.6 ft3min-1 |
最大真空度 |
1 x 10-2 mbar / 7.5 x 10-3 Torr |
入口连接 |
NW40 |
出口连接 |
NW25 |
入口可承受最大压力 |
1000 mbar |
出口可承受最大压力 |
1150 mbar |
电机功率 |
0.6 kW |
电源供应 |
|
1-phase, 50Hz |
100/200/230 V |
1-phase, 60Hz |
100/115/200/230 V |
3-phase, 50Hz |
200/380/415 V |
3-phase, 60Hz |
200/208/230/460 V |
Recommended contactor rating, 3-ph |
|
200-230 V |
5 A |
380-460 V |
3 A |
防护等级 |
IP44 |
密封性能(静态) |
10-4 mbar l s-1 |
作动温度范围 |
5 to 40 °C / 41 to 104 °C |
重量 |
|
3-phase pump |
40 kg / 88 lbs |
1-phase pump |
25 kg / 55 lbs |
ISP 500C 无油涡卷式真空泵 应用
- 扫描式电子显微镜
- 离子植入(电子束及终端装置)
- 一般清洁的抽真空应用
- 溅镀
- 涡轮分子泵的前级泵
- 稀有气体再循环
- 胶材干燥
- 旋转蒸镀设备
- 离心浓缩
- 真空炉
- 手套箱
- 真空腔体粗抽使用