无油涡卷式真空泵
无油涡卷式真空泵为小尺寸、高性能及低成本的组合，设计用于清洁制程中快速、实用的真空泵，不适用于易爆裂、易燃、有毒、腐蚀性物质或含有粉末颗粒的制程使用。
于潮湿环境中抽取冷凝蒸气或从大气压力抽至真空(例:如果相对湿度超过60％)，您必须先使用泵所附带的气镇。该泵是借由气冷搭配时数器以冷却。重量轻、无油且只需偶尔的日常维护。
产品细项
ISP 250C
产品特色
- 极限压力低
- 抽气速度快
- 零污染，无须油保养
- 高性价比
- 最大入口压力达 760 Torr
ISP-250C 无油涡卷式真空泵 规格图
ISP-250C 无油涡卷式真空泵 技术资料
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替换率 |
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50 Hz |
15 m3h-1 / 8.8 ft3min-1 |
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60 Hz |
18 m3h-1 / 10.6 ft3min-1 |
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最高抽气速度 |
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50 Hz |
12.5 m3h-1 / 7.3 ft3min-1 |
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60 Hz |
15 m3h-1 / 8.8 ft3min-1 |
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最大真空度 |
1.6 x 10-2 mbar / 1 x 10-2 Torr |
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入口连接 |
NW25 |
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出口连接 |
NW16 |
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电机功率 |
0.4 kW |
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电源供应 |
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1-phase, 50Hz |
200/230 V |
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1-phase, 60Hz |
110/115V |
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噪音程度 |
58db (A) |
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震动程度 |
1.5 mms -1 |
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防护等级 |
IP44 |
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密封性能(静态) |
10-4 mbar l s-1 |
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作动温度范围 |
5 to 40ﾟC / 41 to 104ﾟC |
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重量 |
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1-phase pump |
25 kg / 55 lbs |
ISP-250C 无油涡卷式真空泵 应用
- 扫描式电子显微镜
- 离子植入（电子束及终端装置）
- 一般清洁的抽真空应用
- 溅镀
- 涡轮分子泵的前级泵
- 稀有气体再循环
- 胶材干燥
- 旋转蒸镀设备
- 离心浓缩
- 真空炉
- 手套箱
- 真空腔体粗抽使用
