钟摆阀
※ 请选取产品分类项 ※
APC 钟摆阀影片简介
APC 钟摆阀闸板系统设定
1. 阀门
2. 制程腔体
3. 进气口
4. 压力传感器
5. 传感器连接线
6. 控制器和执行器
7. 连接遥控器
8. 连接电源
9. 真空泵
主要应用
高科技制程后段压力控制和隔离阀应用产业
>> SEMI - 半导体>> FPD - 光电面板
>> CVD - 化学气相沉积
>> Solar - 太阳能
APC钟摆阀特点
- 集成整合压力控制
- 精确的压力控制
- 密实的隔离
- 反应时间快
- 友善简易操作使用接口
APC钟摆阀端口
项目 |
连结 |
样式 |
电源 |
电源输入 |
DB-9 male |
传感器
(真空计) |
真空计线性电压输入/ 真空计电压供应 |
DB-15 female |
界面 |
RS232 RS485(选配) |
DB-25 female |
传送 |
计算机端口 |
Mini USB type B female |
监控 |
显示状态 |
Green LED display |
产品规格
- 真空计电压 : 24V DC or ±15V DC
- 备用电源 : Yes
- 真空计输入
- 真空计数量:2 pcs
- 真空计数值: 线性 / 指数 t
- 真空计输出电压:0-10V DC 线性压力
- 输入电阻:Ri=21 k Ω
- 分辨率:2.3 mV
- 采样时间:1ms - 控制精度:真空计最大量程的 0.1%
- 仿真\通讯简易控制
- 位置分辨率:8000 (step 0-75° rotation)
- 环境温度: 70°C max(控制器可持续 -24HR)
APC 软件功能
使用APC软件可提供便利操作功能通过计算机控制
- 设置控制参数的调整: GAIN
- 压力和位置控制模式
- 附表测试模式=> 1 cycle schedule
- 设置阀打开/关闭速度
- 记录APC 硬件/软件版本, 序列号和型号
- 记录阀门循环和运行时间
- 设置公差范围的压力
- 循环寿命和压力控制记录
- 控制器参数上传和下载
- 断电保护功能
- 屏幕截图
控制和执行单元 |
||
输入电压 |
+24 VDC(±10%) |
连接器: POWER |
功率消耗 |
150W(controller + motor) |
连接器: POWER |
真空计电源输出 |
+24 VDC /+-15VDC, 500 mA |
连接器: SENSOR |
模拟输入 |
||
真空计数量 |
独立两频道 |
连接器: SENSOR |
输入电压 |
0-10V DC linear |
连接器: SENSOR |
分辨率 |
2.3 mV |
连接器: SENSOR |
输入电阻 |
Ri=21kΩ |
连接器: SENSOR |
模拟输出 |
||
真空计数量 |
独立两频道 |
连接器: INTERFACE |
输出电压 |
0-10V DC linear |
连接器: INTERFACE |
数字输出/入 |
||
输入 |
独立两频道 |
连接器: INTERFACE |
输出 |
独立两频道 |
连接器: INTERFACE |
可接受工作温度 |
||
阀门本体 |
120 ℃ |
|
控制器 |
70 ℃ |
|
控压精度 |
0.1% of maximum sensor range |
|
位置分辨率 |
8000 (step 0-90〫rotation) |
|
备用电源 |
Yes |
|
ISO 200 |
||
关闭时间 |
<1.2sec |
|
开启时间 |
<1.2sec |
|
阀门最大扭拒 |
270kg-cm |
|
ISO 250 |
||
关闭时间 |
<1.2sec |
|
开启时间 |
<1.2sec |
|
阀门最大扭拒 |
880kg-cm |
|
ISO 320 |
||
关闭时间 |
<3.0sec |
|
开启时间 |
<3.0sec |
|
阀门最大扭拒 |
880kg-cm |
规格数据 |
||||||
材质 |
本体 |
A6061-T6 |
||||
阀板 |
A6061-T6 |
|||||
使用寿命 |
关闭/开启寿命 |
200,000 cycles |
||||
压力控制寿命 |
1,000,000 cycles |
|||||
氦气泄漏率(一大气压压差) |
本体 |
<1×10-9 mbar .l /sec |
||||
本体 |
<1×10-5 mbar .l /sec |
|||||
烘烤温度 |
本体 |
≤ 120 ℃ |
||||
驱动器 |
≤ 70 ℃ |
|||||
控制盒 |
≤ 70 ℃ |
|||||
压力范围 |
铝合金 |
1×10-8 mbar to 1.2 bar |
||||
铝合金 ,超硬阳极处理 |
1×10-6 mbar to 1.2 bar |
|||||
最大压差 |
1.2 bar |
|||||
开启前压差 |
≤ 5 mbar |
|||||
压缩空气压力 |
4 ~ 6 Kg/cm² |
|||||
开/关时间(秒) |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
|||
1.2/1.2 |
1.2/1.2 |
2.0/2.0 |
||||
密封圈材质 |
阀板 |
Viton O-ring |
||||
阀盖 |
Viton O-ring |
|||||
重量 |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
|||
22Kg |
31Kg |
51Kg |
||||
驱动器 |
步进马达 |
|||||
安裝位置 |
水平 / 垂直 |
水平 |
||||
选配 |
A. 其他密封圈材质 |
气动钟摆阀(Pendulum Valve)主要应用在制程真空室和涡轮分子泵入口之间安装一个大的节流阀。Htc日扬真空钟摆阀表面处理设计结构有素材面或阳极硬膜构成,具有耐腐蚀,灰尘少的特点。它可用于ISO200,ISO250,ISO320法兰, 尺寸为8",10", 12"的ISO阀门, 其作动方式有气动和APC模式两种。此阀门为一般的闸阀(Gate Valve)或是钟摆阀(Pendulum Valve)之类的设计, 产品应用在OLED, FPD, and PV工业制作系统。