真空閥門
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手動式Z型閥門
KF法蘭有波紋管(美規)
CF可旋轉法蘭有波紋管(美規)
KF法蘭無波紋管(美規)
CF可旋轉法蘭無波紋管(美規)
KF法蘭無氧銅有波紋管(美規)
CF可旋轉法蘭無氧銅有波紋管(美規)
真空閥(Vacuum Valves) - Z型閥(手動)是屬提昇錐閥的一種。當提昇錐被頂至頂端時, 閥門內部的結構腔是開放系統且氣體流動不受阻礙。一旦提昇錐被移動至閥門底部時,橡膠密封圈被壓縮密封閥門,而阻絕氣體的流通達到密封之效果。
Htc日揚真空(Htc Vacuum) 提供各式形式尺寸的真空Z型閥。它們有手動和氣動，有軟管與無軟管。接口端可以焊KF, ISO, CF法蘭。Htc日揚真空設計所有系列Z型閥適用於真空排氣系統、高真空應用的抽氣系統、半導體技術與研究系統等。
- 本體: 不鏽鋼304S.S. (可依客戶要求提供其它材質)
- 提昇錐: 不鏽鋼304S.S. (可依客戶要求提供其它材質)
- 接口端外徑: 3/4 ~ 8 英吋
- 軟管: Welded AM-350 (選配)
- 密封: Viton O型環材質
- 漏率: 2×10-9 mbar-l/sec
- 使用壓力範圍: 1×10-9 mbar 到1000 mbar
- 最大使用壓差: 1.2 Bar
- 耐溫限制:
烘烤溫度
閥門本體
O型圈密封
Open ≤ 100℃
Close ≤ 100℃
金屬密封
Open ≤ 200℃
Close ≤ 150℃
手動式和氣動式
≤ 80℃
保固條件
- 自客戶收到貨品起一年內, 或到達產品設定的使用次數, 先到者為準
- 操作環境限於空氣, 惰性氣體及真空
- 因天然災害, 錯誤操作造成的損壞及消耗品不在保固範圍內
我們可以提供更大或特殊的規格,請透過聯絡我們提供圖面，我們的業務專員將會與您聯絡與報價。
氣動真空閥門變更氣缸為鋁合金氣缸對產品品質提升及客戶應用效益:
- 產品品質提升: 鋁合金汽缸一體成形加工,更能確保汽缸精度質量
Angle / Z-inline / Y-inline 氣缸型式改變鋁合金的規格有: 16/25/40(35)/50
63以上並未修改
真空閥門的種類有角閥、擋板閥、閘閥、球閥、止回閥、蝶閥、鋁合金閥...等，操作方式通常會有手動、氣動及電動三種。這些真空閥門會依其功能性質的不同，分別被使用於粗真空、低真空、高真空及超高真空等不同真空環境。
真空閥門廣泛應用於光電半導體精密製程、先進之TFT-LCD、薄膜太陽能、太陽能電池製程高真空腔體基本構造。
特殊規格真空閥門的客製或訂製，歡迎來函ec@high-light.com.tw洽詢。
真空閥門規格
- 閥門本體: 304 S.S. (Other material available upon request)
- 閥芯: 304 S.S. (Other material available upon reques)
- 波紋管: Welded AM-350 (option)
- 電磁閥: Option
- 位置指示器: Option
- 密封件: Viton Oring
- 洩漏率: 2x10-9 mbar.l/sec
- 壓力範圍: 1x10-9 mbar 到1000 mbar Viton seal bonnet
- 打開前的最大壓力: 1.2 bar
- 打開氣壓: 4~6.5 kg/cm2
- 作動壽命:
Bellows type: 16 to 50~500,000 ; 63 to 150~250,000 ; 200 to 250~80,000
No Bellows type: 10 to 50~200,000 ; 63 to 250~100,000 (Depend on Oring condition)
No Bellows type: Suggest to install in vertical orientation - 烘烤温度範圍:
閥本體 O形環密封 Oring bonnet seal 開 Open ≤ 100℃ 關 Close ≤ 100℃ 金屬密封 Metal bonnet seal 開 Open ≤ 200℃ 關 Close ≤ 150℃ 手動和氣動 Manual and pneumatic actuator ≤ 80℃ - 大型或特殊尺寸的真空閥門可依需求訂製
