真空閥
Htc日揚真空是真空閥門(Vacuum valves)的專業製造供應商。真空閥門本體採用不鏽鋼304及316, 閥門密封用Viton材質O型環中心圈, 使用壓力範圍: 1×10-9 torr 到760 torr。我們所製造生產的真空閥主要的類別形式有: 角閥(Angle Valve)、Y型閥(Y-Inline Valve)、Z型閥(Z-Inline Valve)、全金屬閥門(All-Matel Valve)、球閥(Ball Valve)、逆止閥-止回閥(Check Valve)、全金屬閥門(Bakeable All-Metal Valve)、鋁合金閥門(Aluminum Valve)、排氣閥門(Vent Valve)、蝶閥(Butterfly Valve)、傳輸閥門(Transfer valve)及鐘擺閥(Pendulum valve)。真空閥門產品主要被使用於各式的真空腔體、真空設備及真空鍍膜設備系統中,其主要目的是用來控制或調節氣體流量的導入或導出、切斷和接通管路的元件。
真空閥應用:
真空閥用於高真空或超高真空系統設備,當必須在封閉的真空處理系統中保持真空。真空閥用於控制進入真空腔體的氣流,隔離,排氣,提供減壓或控制傳導。閘閥、Inline閥和角閥是用於高真空或超高真空應用的常見類型的真空閥。
額外的閥門類型包括蝶閥,傳輸閥,球閥,鐘擺閥,全金屬閥,真空閥,鋁合金角閥,特氟龍塗層真空閥和直通閥。
蝶閥是快速打開的閥門,由金屬圓盤或葉片組成,其樞軸線與管道中的流動方向成直角,當在軸上旋轉時,閥門密封閥體中的閥座。
傳輸閥(矩形閘閥)適用於負載鎖定真空腔體和轉移室之間的分隔閥,以及轉移室和半導體製造設備中的處理室之間的分隔閥。
真空球閥是四分之一轉直通流量閥,具有圓形封閉元件,帶有匹配的圓形閥座,可實現均勻的密封應力。
鐘擺閥是在過程真空腔體和渦輪分子泵入口之間安裝一個大節流閥。這種真空鐘擺閥通常設計為閘閥或擺閥,應用包括OLED,FPD和PV工業製造系統。
全金屬閥門設計用於超高真空環境,其中高溫不允許使用彈性體和低溫墊片金屬。可烘烤的全金屬閥門可提供從大氣壓到10-11mbar以下的可靠高溫密封。
真空閥門可在半導體生產系統和化學和微粒污染的應用中可靠地運行。它們可用於粗真空,高真空或超高真空環境。
鋁合金角閥的入口與出口成直角。這些角閥材料為鋁A6061-T6,用於半導體和儀器製造,研發和工業真空系統的粗到高真空應用。
鐵氟龍塗層真空閥是一種閥門本體內部做披覆塗佈鐵氟龍設計的不銹鋼真空組件設備,具有耐用且高度耐化學腐蝕的塗層。
保固條件
- 自客戶收到貨品起一年內, 或到達產品設定的使用次數, 先到者為準
- 操作環境限於空氣, 惰性氣體及真空
- 因天然災害, 錯誤操作造成的損壞及消耗品不在保固範圍內