無油渦卷式真空泵
無油渦卷式真空泵為小尺寸、高性能及低成本的最佳組合，設計用於清潔製程中快速、實用的真空泵，不適用於易爆裂、易燃、有毒、腐蝕性物質或含有粉末顆粒的製程使用。
於潮濕環境中抽取冷凝蒸氣或從大氣壓力抽至真空(例:如果相對濕度超過60％)，您必須先使用泵所附帶的氣鎮。該泵是藉由氣冷搭配時數器以冷卻。重量輕、無油且只需偶爾的日常維護。
產品案例
ISP 250C
產品特色
- 極限壓力低
- 抽氣速度快
- 零污染，無須油保養
- 高性價比
- 最大入口壓力達 760 Torr
ISP-250C 無油渦卷式真空泵 規格圖
ISP-250C 無油渦卷式真空泵 技術資料
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替換率 |
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50 Hz |
15 m3h-1 / 8.8 ft3min-1 |
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60 Hz |
18 m3h-1 / 10.6 ft3min-1 |
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最高抽氣速度 |
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50 Hz |
12.5 m3h-1 / 7.3 ft3min-1 |
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60 Hz |
15 m3h-1 / 8.8 ft3min-1 |
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最大真空度 |
1.6 x 10-2 mbar / 1 x 10-2 Torr |
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入口連接 |
NW25 |
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出口連接 |
NW16 |
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電機功率 |
0.4 kW |
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電源供應 |
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1-phase, 50Hz |
200/230 V |
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1-phase, 60Hz |
110/115V |
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噪音程度 |
58db (A) |
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震動程度 |
1.5 mms -1 |
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防護等級 |
IP44 |
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密封性能(靜態) |
10-4 mbar l s-1 |
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作動溫度範圍 |
5 to 40ﾟC / 41 to 104ﾟC |
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重量 |
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1-phase pump |
25 kg / 55 lbs |
ISP-250C 無油渦卷式真空泵 應用
- 掃描式電子顯微鏡
- 離子植入（電子束及終端裝置）
- 一般清潔的抽真空應用
- 濺鍍
- 渦輪分子泵的前級泵
- 稀有氣體再循環
- 膠材乾燥
- 旋轉蒸鍍設備
- 離心濃縮
- 真空爐
- 手套箱
- 真空腔體粗抽使用
