同步輻射UHV超高真空腔體
同步輻射超高真空腔體是一個極大的超高真空(10-10 torr)腔體。Htc日揚科技以真空科技技術為基礎, 累積了超過無數超高真空相關技術案例,供產業界進行相關應用。
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產品案例
同步輻射超高真空腔體
材質:S.S.304
表面處理:電解拋光
規格:CF 350 Flange方形超高真空(UHV)腔體
洩漏率<2 x 10-10mbar.l/sec
工作壓力<7.5 x10-10 torr
RGA總壓<1 x10-9 torr時, 45amu以上物質總分壓<0.1%