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ペントロールバルブは大口径のスロートバルブとしてプロセスチャンバーとダブル分子ポンプの間に取付けています。
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HVアングルバルブの本体は高純度のアルミニウムを採用されてる、接続フランジはNWフランジです。内臓の成形ベローズでサイクルライフが1千万回可能です。リークレートは 2x10-9 mbar.l/sです。
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オーメタルバルブは超高真空装置に適しています。使用圧力範囲は大気圧から10-11トルまで可能です。金属のシール材で高温(300~400)に対応できます。
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真空ゲートバルブは主要な性能は真空の隔離及び調整します。粗引きポートを追加すれば、真空隔離と真空ベントの2つの性能を実現可能です。
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真空バルブは真空システムに使用されています。バルブの開閉で気流方向を変更できるし、又は導入ガスの制御及び調整可能です。
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テフロンコーティング真空バルブは腐食性のガスに対応できます。真空排気系のスクラッパの配管やCVD装置に適用します。耐食性が良いです。
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真空ボールバルブは、バルブの真中にボールを設計されております。球体の90度内の回転でバルブを開閉します。
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スリットバルブは伝送のゲートバルブの1種類です。カセット有りと無しの二つタイプがあります。FPD産業及び成膜装置に適します。
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アルミ製ゲートバルブ、本体の材質はステンレスですが、ゲートの材質はアルミです。常に高真空を使用されている。そのバルブは圧空式で駆動のバルブです。
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APC バターフライバルブの特徴は集積の圧力を制御し、制御精度が良いです。優しいユーザーインターフェースで操作簡単です。
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逆止弁はガス及び液体を単一の方向へ流れて、逆方向からの回流を防ぐバルブです。
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真空チャンバ一般的に使用される材料は、ステンレス、アルミニウム、炭素鋼です。製品の形状は長方形、円筒形、多角形です
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6方キューブはICFフランジの6面の立方体で、よく超高真空のプロセスに応用されています。
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継手配管はエルボ、ティー、4方クローズ、6方クローズを含めています。真空システム装置に重要な構成部品です。
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真空成形ベローズは真空ポンプと真空配管の間に接続します。高真空及び超高真空環境で使用されています。ベローズの伸縮性で配管の位置変移を調整できます。
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