真空成膜や表面分析等のプロセスは真空チャンバーの中に作業しないと完成できません。真空チャンバーの品質は真空装置良否に重要な役割を担当します。日揚科技はお客様のご要望に沿った真空チャンバーを製造した豊富な経験があります。例え、大学の研究実験用の表面分析の超高真空システム、真空度は

10^-10 torrを要求され、薄膜太陽電池の特殊プロセス用のチャンバーは基板温度が600℃までに加温必要、その時、真空チャンバー冷却システムの設計は非常に重要となります。

真空チャンバーを良く使っている材質はステンレス、アルミ合金、カーボンスチール等です。形状は角形、円筒形、複雑な形状もあります。表面処理はブラスト、研磨、電解研磨等可能です。

それ以外、日揚科技も真空装置を組立能力を持ち、真空チャンバーの設計と製造するサービスを延ばして、真空マジュール或いは真空システムが統合できます。お客様に全面的な真空プロセス対応を提供します。

日揚科技に真空チャンバーを委託する優位は下記の様になります:

1. 日揚科技は真空業界での豊富な経験を持っています。
2. 真空部品を製造した経験があり、各仕様の真空部品の在庫を持ち、真空チャンバーの製造に活かします。
3. 加工能力及び場所の完備で社内で材料を切削、加工、溶接、洗浄、組立、リークーテストを作業可能
4. 真空ポンプの修理のチームがあり、予備ポンプを利用して大型真空チャンバーの排気とリークテストを　行います。

Htc(日揚科技)は設計構造分析ソフトを使用して、真空チャンバーに設計構造と強度を分析と確認します。



日揚科技にて製造した真空チャンバーが欧米、日本及世界各地のお客様に販売しています。良い評価をされて、今後も一層に真空技術の向上を目指し続けてきて、良い品質の製品をお客様に提供します。