バターフライバルブ
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APC バターフライバルブの製品紹介ビデオ
APC バターフライバルブ装置に設置方式
1. バルブ
2. プロセスチャンバー
3. ガス導入口
4. 圧力センサー
5. センサーケーブル
6. コントローラとアクチュエーター
7. リモートコントローラーケーブル
8. 電源ケーブル
9. 真空ポンプ
APC バターフライバルブ特徴
- 集積圧力コントローラー
- 正確な圧力制御
- 完全に隔離
- 反反応時間が短い
- 優しいユーザーインターフェイス
主要応用
真空圧力制御及び隔離応用産業
>> SEMI - 半導体
>> FPD - フラットパネルディスプレイ
>> PVD - 物理蒸着
>> Solar - 太陽電池
バターフライ制御システム - ModBUS コントローラー
Features
>> 快速に正確な圧力の制御
>> バルブ位置制御
>> 予備電源：有り、停電時、バルブの閉める用
>> センサー電源：有り、24V DCと±15V DCの両方とも有り
>> 2つのセンサー接続可能で、2種の操作モードを選択可能
>> 簡単にアナログとデジダルの制御
>> 環境温度:最高70度以内(コントロール部分―24時間)
>> リモート制御(客先オプション可)
>> 初回調整時、パソコン(RS232)で調整可
>> バルブの状態と位置はコントローラーに緑のライトで表示
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Model |
Connection |
Connection Type |
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Power |
Power input |
DB-9 male |
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Sensor |
Sensor input/ |
DB-15 female |
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Interface |
RS232+Logic |
DB-25 female |
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Service |
APC service |
Mini USB type B female |
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Monitor |
Show status |
Green LED display |
APC ソフトウェアー性能
APCソフトウェアーの使用、便利なパソコン操作性能を提供できる
- 制御チューニングパラメータを設定する: GAIN
- 圧力及び位置制御モード
- スケジュールテストモード=> 1 サイクル スケジュール
- バルブ開/閉速度設定
- APC HW/SW バージョン、シリアルコード、モデル番を記録する
- バルブサイクルと実行時間を記録する
- 圧力の公差範囲を設定する
- サイクルライフ及び圧力制御を記録する
- コントローラーパラメータをアップロードとダウンロード
- 停電保護
- 圧力ラーリング機能
Specifications
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Valve unit |
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| Material | Body | 304S.S. (*1) | ||
| Plate | 304S.S. (*1) | |||
| Shaft | 304S.S. | |||
| Gate seal | Viton | |||
| Shaft seal | Viton | |||
| Flange | KF、ISO、CF | |||
| Mounting orientation | Any | |||
| Cycles until first service | Pressure control | 2,000,000(*2) | ||
| Closing / Opening | 250,000 | |||
| Helium leak rate at 1 atm differential | < 1 x 10-9 mbar．l/sec | |||
| Pressure range | 1 x 10-8 mbar to 1.2 bar | |||
| Operating temperature | Body | 10°C to 110°C | ||
| Actuator | Step Motor | |||
| Options | a. Communication interface(RS232,RS485) b. Analog input(12bit,24bit) |
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| Standard accessories | Digital node(4in/4out) | |||
(*1) Body and Plate material can choose aluminum alloy.
(*2) The Cycle life of valve is apply to room temperature 25°C and clean environment, and the opening action apply to be less than 10 mbar pressure difference. (If the opening action exceeds the pressure difference of 10 mbar, it is not covered by this guarantee.)
(*3) If there is particle issue in the working condition of the valve , please clean the valve plate and body regularly and apply some vacuum grease on these parts.
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Control and actuating unit |
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| Input voltage | +24 VDC(±10%) | connector: POWER | |||
| Power consumption | 100W max.(controller+Motor+Sensor+Power+Failure) | connector: POWER | |||
| Sensor power supply output | +24 VDC /+-15VDC， 500 mA | connector: SENSOR | |||
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Analog input |
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| Q’ty of sensors | Independent 2 channel | connector: SENSOR | |||
| Input voltage | 0-10V DC linear Physical quantity | connector: SENSOR | |||
| Resolution | 12bit | 2.3 mV | connector: SENSOR | ||
| 24bit | 0.5 mV | ||||
| Sampling rate | 1 msec | connector: SENSOR | |||
| Input resistance | Ri>=21kΩ | connector: SENSOR | |||
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Analog output |
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| Q’ty of sensors | Independent 2 channel | connector: INTERFACE | |||
| Outputs voltage | 0-10V DC linear | connector: INTERFACE | |||
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Digital Input/ Output |
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| Input | Independent 2 channel ,Option 4 channel |
connector: INTERFACE | |||
| Output | Independent 2 channel ,Option 4 channel |
connector: INTERFACE | |||
| Admissible temperature |
≦70 ℃ -24HR |
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| Pressure control accuracy |
0.1% of maximum sensor range |
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| Backup Power |
Yes |
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KF25,KF40,KF50,CF35 |
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| Closing time |
<0.85sec |
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| opening time |
<0.85sec |
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| Valve max. torque |
50kg-cm |
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| Position resoiution |
8000(steps 0-90 rotation) |
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ISO63, ISO80, ISO100, CF63, CF100 |
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| Closing time |
<0.85sec |
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| opening time |
<0.85sec |
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| Valve max. torque |
50kg-cm |
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| Position resoiution |
8000(steps 0-90 rotation) |
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ISO160, CF150 |
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| Closing time |
<3.5sec |
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| opening time |
<3.5sec |
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| Valve max. torque |
90kg-cm |
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| Position resoiution |
2400(steps 0-90 rotation) |
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バターフライバルブは常に隔離と流量調整の用途を使用されている。その製品の開閉構造はディスクの板で気流を開閉と調整する。操作方法はボールバルブと似て、迅速に開閉できる。製品の構造簡単で、重量も軽くて、製品の組立も容易である。
Htc vacuum(日揚科技)は各種なバターフライバルブを供給可能である。製品の特長は使用寿命が長いし、高品質と性能が良い。優れた設計構造で長い時間を使用して、修理必要がない。バターフライバルブの駆動方式は手動式、圧空式、自動圧力制御(APC)の3種類がある。修理しなくても可能である。
バターフライバルブを開閉した時、円いディスクの板が本体から飛び出すから、接続相手品の配管内径と干渉する恐れがある。そのため、製品を組合せる前、先ずの配管内径寸法をご確認下さい。
