- 真空チャンバー
- UHV超高真空チャンバー
- 真空バルブ
- 真空コンポーネント
-
真空ポンプ
- Edwardsターボ分子ポンプ
- スクロール真空ポンプ
- 中古真空ポンプ
-
EBARA ドライポンプキット
- A07 - EBARA dry pump kits
- A10S - EBARA dry pump kits
- A30 - EBARA dry pump kits
- A70W - EBARA dry pump kits
- A150W - EBARA dry pump kits
- 40.20 - EBARA dry pump kits
- 50.20 - EBARA dry pump kits
- 80.25 - EBARA dry pump kits
- 150.40 - EBARA dry pump kits
- AA10 - EBARA dry pump kits
- AA20 - EBARA dry pump kits
- AA40 - EBARA dry pump kits
- AA200 - EBARA dry pump kits
- サニタリーフィッティング
- パフロロエラストマー(FFKM) Oリング
- Local Scrubber 洗浄装置
- Energy-Saving Heat Jacket
ペントロールバルブ
※ Please select product classify ※
|
材質 |
ボーディ |
アルミ-A6061-T6 |
||
|
ゲート |
アルミ-6061-T6 |
|||
|
寿命 |
20万回サイクル |
|||
|
1大気圧でヘリウムリークレート |
ボーディ アルミーニケッルメッキ |
＜1×10-9 mbar .l /sec |
||
|
ボーディ アルミー硬質アルマイト |
＜1×10-5 mbar .l /sec |
|||
|
べーキン温度 |
ボディー |
≤ 120℃ |
||
|
エクチュエーター |
≤ 80℃ |
|||
|
電磁弁 |
≤ 50℃ |
|||
|
圧力範囲 |
ニッケルメッキ : 1×10-8 mbar から 1.2 barまで |
|||
|
最大差圧 ΔP |
1.2 bar |
|||
|
開いている最大差圧 ΔP |
≤ 5 mbar |
|||
|
圧縮エアー圧力 |
4 ~ 6 Kg/cm² |
|||
|
開 / 閉 時間 |
4 / 4 sec |
|||
|
標準シール |
ゲート |
バイトン Oリング |
||
|
ボンネット |
バイトン Oリング |
|||
|
エクチュエーター |
圧空式(電磁弁制御) |
|||
|
重量 |
ISO200 : 25 Kg |
|||
|
取付方向 |
水平（シリンダアップ）または垂直 |
|||
|
オプション |
a. 他材質のゲートシール Oリング |
|||
設計原則 / 特徴：
1.振動小
2.耐腐食
3.発塵少
4.取付容易で修理時、バルブを装置から取外す不要
5.より大きい差圧を耐える(Htc特許)
仕様 ：
1.サイズ:ISO-250
2.本体材質 :アルミニウム 6061-T6
3.ゲート材質：アルミニウム 6061-T6
4.本体の表面処理 :アルミ素材面または硬質アルマイト
5.取付方向 :水平（シリンダアップ）または垂直
6.CDA(圧縮乾燥空気)圧力:4-6 kg/cm2
Control Wiring Externa
圧空式ペントロールバルブは大口径のスロートバルブとしてプロセスチャンバーとダブル分子ポンプの間に取付けている。Htc vacuum(日揚科技)のペントロールバルブは表面処理はアルミニウム合金と硬質アルマイトの2種類がある。製品の特徴は耐腐食、発塵小である。接続フランジのサイズは常に ISO 200,ISO 250,ISO 320以上で、駆動式は圧空式及びAPCの二つである。その大口径のスロートバルブはいつもゲートバルブ及びペントロールバルブに設計されている。製品は有機EL(OLED)、FPD、PV産業の製造装置に応用する。
