真空传输阀门(矩形阀)
矩形闸阀
矩形门型闸阀 (二段式气压)
客制水平式L-MOTION矩形阀
矩形传输阀含波纹管(50x420 单缸)-硬阳
大型矩形门型闸阀L-motion type
大型矩形阀 L-motion 型式
钢珠式矩形阀
旋板式矩形阀
二段式汽缸作动矩形阀
矩形阀门slit valve - 硬膜阳极处理
矩形阀门 transfer valve-气动含波纹管
矩形门型闸阀
矩形闸阀Transfer Gate Valve 外形尺寸小，广泛应用于镀膜设备与光电产业，如生产线与过渡腔室与传输系统，传输系统与工艺腔室等需要分隔真空压力的地方。
矩形闸阀Transfer Gate Valve 作动
辅助抵紧块(克服气压缸推轴刚性不足)，封合压力均匀(上方受力较大，使预倾斜一小角度)，所有动件皆位于大气侧因而与真空侧隔绝，减少粉尘产生，并提升产品的使用寿命。
另外还有无气压时的封合保护，封板快速拆装设计便于维修等优点。
保固条件
- 自客户收到货品起一年内, 或到达产品设定的使用次数, 先到者为准
- 操作环境限于空气, 惰性气体及真空
- 因天然灾害, 错误操作造成的损坏及消耗品不在保固范围内
- 客户使用后，若通过视觉判断存在粉尘，此不在保修范围内。
有任何相关真空矩形阀门需求或问题，欢迎联系我们，Htc日扬真空将为您提供解决方案。
产品应用
Htc真空矩形阀是采用了直连驱动技术的真空阀，外形尺寸小，设计紧凑，所有动件皆位于大气侧因而与真空侧隔绝，可减少粉尘产生，并提升产品的使用寿命。另外还有无气压时的封合自锁保护，封板快速拆装设计易维修等优点。
真空矩形阀广泛应用于半导体、光电产业之镀膜设备，安装于生产线与过渡腔室（load-lock chamber），过渡腔室（load-lock chamber）与传输系统（handling system），传输系统（handling system）与制程腔室（process chamber）等需要真空与压力分隔的地方。
真空矩形阀门于Cluster Chamber装置范例
设计原理/特征
l 低振动及低粉尘设计(Low vibration and Low particle)
l 利用凸轮机构与弹簧完成封板封合动作。
l 双气压缸、单出力轴驱动。
l 驱动轴杆封合顶紧辅助装置。
l 无气压时的封合自锁保护装置。
l 封板快速拆装设计，方便O-ring维修更换。
l 100 万周期寿命。
产品分类
l 标准型矩形闸阀(Standard Rectangular Transfer valves)
l 标准型矩形门型闸阀(Rectangular doors)
l 大型矩形闸阀(Large rectangular transfer valves)
l 大型矩形门型闸阀(Large rectangular doors)
Body 材质
铝合金或不锈钢(Aluminum or Stainless)
Body 表面处理
电解抛光 or 铝硬阳处理(Electrolytic polishing or Hard anodized Aluminum)
