真空傳輸閥門(矩形閥)
矩形閥門
矩形門型閘閥 (二段式氣壓)
客製水平式L-MOTION矩形閥
矩形傳輸閥含波紋管(50x420 單缸)-硬陽
大型矩形門型閘閥 L-motion type
大型矩形閥 L-motion type
鋼珠式矩形閥
旋板式矩形閥
二段式汽缸作動矩形閥
矩形閥門slit valve - 硬膜陽極處理
矩形閥門 transfer valve-氣動含波紋管
矩形門型閘閥
保固條件
- 自客戶收到貨品起一年內, 或到達產品設定的使用次數, 先到者為準
- 操作環境限於空氣, 惰性氣體及真空
- 因天然災害, 錯誤操作造成的損壞及消耗品不在保固範圍內
- 因客戶使用後，經直接視覺判斷有粉塵，將不在保固範圍內
有任何相關真空矩形閥門需求或問題，歡迎聯繫我們，Htc日揚真空將為您提供解決方案。
產品應用
Htc真空矩形閥門是採用了直連驅動技術的真空閥門，外形尺寸小，設計緊湊，所有動件皆位於大氣側因而與真空側隔絕，可減少粉塵產生，並提升產品的使用壽命。另外還有無氣壓時的封合自鎖保護，封板快速拆裝設計易維修等優點。
真空矩形閥門廣泛應用於半導體、光電產業之鍍膜設備，安裝於生產線與過渡腔室（load-lock chamber），過渡腔室（load-lock chamber）與傳輸系統（handling system），傳輸系統（handling system）與製程腔室（process chamber）等需要真空與壓力分隔的地方。
真空矩形閥門於Cluster Chamber裝置範例
設計原理/特徵
l 低振動及低粉塵設計(Low vibration and Low particle)
l 利用凸輪機構與彈簧完成封板封合動作。
l 雙氣壓缸、單出力軸驅動。
l 驅動軸桿封合頂緊輔助裝置。
l 無氣壓時的封合自鎖保護裝置。
l 封板快速拆裝設計，方便O-ring維修更換。
l 100 萬週期壽命。
產品分類
l 標準型矩形閘閥 (Standard Rectangular Transfer valves)
l 標準型矩形門型閘閥 (Rectangular doors)
l 大型矩形閘閥 (Large rectangular transfer valves)
l 大型矩形門型閘閥 (Large rectangular doors)
Body 材質
鋁合金或不銹鋼(Aluminum or Stainless)
Body 表面處理
電解拋光 or 鋁硬陽處理(Electrolytic polishing or Hard anodized Aluminum)
