スリットバルブ

製品応用

HTC vacuum(日揚科技)のスリットバルブは直連結駆動の真空バルブである。最適なバルブボーティサイズを設計して、各産業にも適用する。全ての作動部品は大気側に設置しているため、真空側のパーティクルを低減し、ライフサイクルを向上できる。他の利点は気圧無くなった時、ゲート真空封止の安全ロック付き、メンテンナスの時、ゲートを取外し易い等である。

スリットバルブは半導体や光電産業などの成膜装置に汎用されている。 主にロードロックチャンバとトランスファチャンバー又はトランスファチャンバーとプロセスチャンバーの間に真空仕切り及び圧力隔離用

スリットバルブをチャンバーの間に取付る範例

設計原理 / 特徴

l   低振動、低パーティクル

l   カムとスプリングの構造で封止の動作を起動する

l   ツイエアーシリンダ、シングル強制軸

l   伝動軸で推進補助

l   気圧停止の時、シールの安全ロック

l   シールゲートを分解容易で、Oリングの交換は簡単である

百万回のライフサイクル

種類

• 標準規格スリットバルブ
• 標準規格スリットバルブ－カセット無し
• 大口径スリットバルブ
• 大口径スリットバルブーカセット無し 

ボディー材質

アルミニウム又はステンレス

ボディー表面処理

電解研磨又は硬質アルマイト