- 真空チャンバー
- UHV超高真空チャンバー
- 真空バルブ
- 真空コンポーネント
-
真空ポンプ
- Edwardsターボ分子ポンプ
- スクロール真空ポンプ
- 中古真空ポンプ
-
EBARA ドライポンプキット
- A07 - EBARA dry pump kits
- A10S - EBARA dry pump kits
- A30 - EBARA dry pump kits
- A70W - EBARA dry pump kits
- A150W - EBARA dry pump kits
- 40.20 - EBARA dry pump kits
- 50.20 - EBARA dry pump kits
- 80.25 - EBARA dry pump kits
- 150.40 - EBARA dry pump kits
- AA10 - EBARA dry pump kits
- AA20 - EBARA dry pump kits
- AA40 - EBARA dry pump kits
- AA200 - EBARA dry pump kits
- サニタリーフィッティング
- パフロロエラストマー(FFKM) Oリング
- Local Scrubber 洗浄装置
- Energy-Saving Heat Jacket
カスタマズ横式Lモションスリットバルブ
スリットバルブ
select | ||
Model No. | Customized | |
Parts No. | Special product number | |
Note | Please check box, Send Inquiry to contact us. | |
Select | Model No. | Parts No. | Note |
Customized | Special product number | Please check box, Send Inquiry to contact us. |
寸法
仕様
* そのライフサイクルは室温の25℃の清潔な環境で、作動(開く)差圧が10mbar以内での測定値です 作動(開く)差圧が10mbar以上の場合、そのライフサイクルを保証できません。
取り付方向
仕様
製品名 |
150 x 360 スリットバルブ |
開口サイズ |
150 x 360 mm |
材質 |
バルブ本体と弁体: A6061-T6 ボンネットと伝導アーム: 304S.S. ベローズ: AM350 Oリング: バイトン |
リークレート |
本体 < 1 x 10-9 mbar*l/s |
シール < 1 x 10-9 mbar*l/s |
|
圧力範囲 |
1 x 10-8 mbar から 1 bar まで |
駆動軸 |
ベローズ |
弁体の差圧 |
正差圧 ≦ 1 bar |
逆差圧 ≦ 10 mbar |
|
開き時の差圧 |
< 10 mbar |
許容温度 |
本体と弁体< 120℃ 駆動モジュール < 60℃ |
空気圧 |
圧空 5~6 Kg/cm² |
標準シール |
弁体Oリング : バイトン |
開/閉 センサー |
DC4-24(V)) または AC4-240(V), Amps:5-40 mA |
電磁弁 パワー (オプション) |
DC24(V) ,AC24(V),AC110(V),AC220(V) |
開/閉 時間 |
開≦ 5 sec 閉≦ 5 sec |
サイクルライフ* |
500,000 回 |
取付方向 |
アクチュエーター 右向けまたは左向け |
取り付方向