APC自动压力控制阀有DeviceNet通讯系统-KF法兰型

APC自动压力控制蝶阀(KF法兰型)
自动压力控制
通讯协议：DeviceNet

法兰 : KF
尺寸 : KF25 / KF40 / KF50

Htc日扬真空蝶阀KF法兰型自动压力控制是整合真空压强制反馈与马达控制技术的APC真空蝶阀, 可快速调节真空腔体制程压力, 完全隔絶真空侧与大气侧, 具有外形尺寸小、使用寿命长、易维修等优点;搭配Htc日扬真空的APC软件, 可简单快速设定监控制程压力。

应用产业制程:
半导体(SEMI)、光电产业(FPD)、太阳能产业(Solar)、CVD制程等

安装运用在真空泵帮浦与制程腔室间, 控制密封板开度进而达到压力调节。

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Model No.	KF25BFVC/DN/12bit	KF25BFVC/DN/24bit	KF40BFVC/DN/12bit	KF40BFVC/DN/24bit	KF50BFVC/DN/12bit	KF50BFVC/DN/24bit
Parts No.	3202111101216	320211110121G	3202131101216	320213110121G	3202141101216	320214110121G
A	27	27	27	27	27	27
B	50	50	57	57	57	57
D	65	65	80	80	90	90
E	231	231	239.5	239.5	245	245
F	263.5	263.5	279.5	279.5	290	290
G	90	90	90	90	90	90
H	130	130	130	130	130	130

Select	Model No.	Parts No.	A	B	D	E	F	G	H
	KF25BFVC/DN/12bit	3202111101216	27	50	65	231	263.5	90	130
	KF25BFVC/DN/24bit	320211110121G	27	50	65	231	263.5	90	130
	KF40BFVC/DN/12bit	3202131101216	27	57	80	239.5	279.5	90	130
	KF40BFVC/DN/24bit	320213110121G	27	57	80	239.5	279.5	90	130
	KF50BFVC/DN/12bit	3202141101216	27	57	90	245	290	90	130
	KF50BFVC/DN/24bit	320214110121G	27	57	90	245	290	90	130

APC蝶阀-KF法兰型

APC 蝶阀-DeviceNET通讯