APC自动压力控制阀有DeviceNet通讯系统-ISO法兰型

APC自动压力控制蝶阀(ISO法兰型)
自动压力控制
通讯协议：DeviceNet

法兰 : ISO
尺寸 : ISO63 / ISO80 / ISO100 / ISO160

Htc日扬真空ISO法兰型自动压力控制蝶阀是整合真空压强制反馈与马达控制技术的真空蝶阀, 可快速调节真空腔体制程压力, 完全隔絶真空侧与大气侧, 具有外形尺寸小、使用寿命长、易维修等优点;搭配Htc日扬真空的APC软件, 可简单快速设定监控制程压力。

应用产业制程:
半导体(SEMI)、光电产业(FPD)、太阳能产业(Solar)、CVD制程等

安装运用在真空泵帮浦与制程腔室间, 控制密封板开度进而达到压力调节。

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Model No.	ISO63BFVC/DN/12bit	ISO63BFVC/DN/24bit	ISO80BFVC/DN/12bit	ISO80BFVC/DN/24bit	ISO100BFVC/DN/12bit	ISO100BFVC/DN/24bit	ISO160BFVC/DN/12bit	ISO160BFVC/DN/24bit
Parts No.	3202151113216	320215111321G	3202161113216	320216111321G	3202181113216	320218111321G	3202201113216	320220111321G
A	30	30	30	30	30	30	40	40
B	15	15	26	26	36	36	57	57
C	21	21	26	26	36	36	57	57
D	130	130	145	145	165	165	225	225
E	267	267	275	275	286	286	426	426
F	327	327	344	344	363	363	536	536
G	90	90	90	90	90	90	110	110
H	130	130	130	130	130	130	140	140
I x No	M8 x 4	M8 x 4	M8 x 8	M8 x 8	M8 x 8	M8 x 8	M10 x 8	M10 x 8
P.C.D.	110	110	125	125	145	145	200	200
Thread Depth	12L	12L	12L	12L	12L	12L	15L	15L

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Model No.
Parts No.
A
B
C
D
E
F
G
H
I x No
P.C.D.
Thread Depth

Select	Model No.	Parts No.	A	B	C	D	E	F	G	H	I x No	P.C.D.	Thread Depth
	ISO63BFVC/DN/12bit	3202151113216	30	15	21	130	267	327	90	130	M8 x 4	110	12L
	ISO63BFVC/DN/24bit	320215111321G	30	15	21	130	267	327	90	130	M8 x 4	110	12L
	ISO80BFVC/DN/12bit	3202161113216	30	26	26	145	275	344	90	130	M8 x 8	125	12L
	ISO80BFVC/DN/24bit	320216111321G	30	26	26	145	275	344	90	130	M8 x 8	125	12L
	ISO100BFVC/DN/12bit	3202181113216	30	36	36	165	286	363	90	130	M8 x 8	145	12L
	ISO100BFVC/DN/24bit	320218111321G	30	36	36	165	286	363	90	130	M8 x 8	145	12L
	ISO160BFVC/DN/12bit	3202201113216	40	57	57	225	426	536	110	140	M10 x 8	200	15L
	ISO160BFVC/DN/24bit	320220111321G	40	57	57	225	426	536	110	140	M10 x 8	200	15L

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