APC自动压力控制阀有DeviceNet通讯系统-CF法兰型

APC自动压力控制蝶阀(CF法兰型)
自动压力控制
通讯协议：DeviceNet

法兰 : CF
尺寸 : CF35 / CF63 / CF100 / CF150

Htc日扬真空CF法兰型自动压力控制蝶阀是整合真空压强制反馈与马达控制技术的真空蝶阀, 可快速调节真空腔体制程压力, 完全隔絶真空侧与大气侧, 具有外形尺寸小、使用寿命长、易维修等优点;搭配Htc日扬真空的APC软件, 可简单快速设定监控制程压力。

应用产业制程:
半导体(SEMI)、光电产业(FPD)、太阳能产业(Solar)、CVD制程等

安装运用在真空泵帮浦与制程腔室间, 控制密封板开度进而达到压力调节。

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Model No.	CF35BFVC/DN/12bit	CF35BFVC/DN/24bit	CF63BFVC/DN/12bit	CF63BFVC/DN/24bit	CF100BFVC/DN/12bit	CF100BFVC/DN/24bit	CF150BFVC/DN/12bit	CF150BFVC/DN/24bit
Parts No.	3202131102216	320213110221G	3202151102216	320215110221G	3202181102216	320218110221G	3202201102216	320220110221G
A	30	30	35	35	30	30	40	40
B	4.5	4.5	16	16	36.5	36.5	57	57
C	4.5	4.5	16	16	36.5	36.5	57	57
D	69.5	69.5	113.6	113.6	151.6	151.6	202.5	202.5
E	229	229	260.5	260.5	279	279	416	416
F	264	264	314	314	351	351	514.5	514.5
G	90	90	90	90	90	90	110	110
H	130	130	130	130	130	130	140	140
I x No	M6 x 6	M6 x 6	M8 x 8	M8 x 8	M8 x 16	M8 x 16	M8 x 20	M8 x 20
P.C.D.	58.7	58.7	92.1	92.1	130.3	130.3	181	181
Thread Depth	12L	12L	12L	12L	12L	12L	15L	15L

Select	Model No.	Parts No.	A	B	C	D	E	F	G	H	I x No	P.C.D.	Thread Depth
	CF35BFVC/DN/12bit	3202131102216	30	4.5	4.5	69.5	229	264	90	130	M6 x 6	58.7	12L
	CF35BFVC/DN/24bit	320213110221G	30	4.5	4.5	69.5	229	264	90	130	M6 x 6	58.7	12L
	CF63BFVC/DN/12bit	3202151102216	35	16	16	113.6	260.5	314	90	130	M8 x 8	92.1	12L
	CF63BFVC/DN/24bit	320215110221G	35	16	16	113.6	260.5	314	90	130	M8 x 8	92.1	12L
	CF100BFVC/DN/12bit	3202181102216	30	36.5	36.5	151.6	279	351	90	130	M8 x 16	130.3	12L
	CF100BFVC/DN/24bit	320218110221G	30	36.5	36.5	151.6	279	351	90	130	M8 x 16	130.3	12L
	CF150BFVC/DN/12bit	3202201102216	40	57	57	202.5	416	514.5	110	140	M8 x 20	181	15L
	CF150BFVC/DN/24bit	320220110221G	40	57	57	202.5	416	514.5	110	140	M8 x 20	181	15L

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