APC自動壓力控制閥有DeviceNet通訊系統-CF法蘭型

APC自動壓力控制蝶閥(CF法蘭型)
自動壓力控制
通訊協議：DeviceNet

法蘭 : CF
尺寸 : CF35 / CF63 / CF100 / CF150

Htc日揚真空CF法蘭型自動壓力控制蝶閥是整合真空壓力回饋與馬達控制技術的真空蝶閥, 可快速調節真空腔體製程壓力, 完全隔絶真空側與大氣側, 具有外形尺寸小、使用壽命長、易維修等優點;搭配Htc日揚真空的APC軟體, 可簡單快速設定監控製程壓力。

應用產業製程:
半導體(SEMI)、光電產業(FPD)、太陽能產業(Solar)、CVD製程等

安裝運用在真空泵幫浦與製程腔室間, 控制密封板開度進而達到壓力調節。

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Model No.	CF35BFVC/DN/12bit	CF35BFVC/DN/24bit	CF63BFVC/DN/12bit	CF63BFVC/DN/24bit	CF100BFVC/DN/12bit	CF100BFVC/DN/24bit	CF150BFVC/DN/12bit	CF150BFVC/DN/24bit
Parts No.	3202131102216	320213110221G	3202151102216	320215110221G	3202181102216	320218110221G	3202201102216	320220110221G
A	30	30	35	35	30	30	40	40
B	4.5	4.5	16	16	36.5	36.5	57	57
C	4.5	4.5	16	16	36.5	36.5	57	57
D	69.5	69.5	113.6	113.6	151.6	151.6	202.5	202.5
E	229	229	260.5	260.5	279	279	416	416
F	264	264	314	314	351	351	514.5	514.5
G	90	90	90	90	90	90	110	110
H	130	130	130	130	130	130	140	140
I x No	M6 x 6	M6 x 6	M8 x 8	M8 x 8	M8 x 16	M8 x 16	M8 x 20	M8 x 20
P.C.D.	58.7	58.7	92.1	92.1	130.3	130.3	181	181
Thread Depth	12L	12L	12L	12L	12L	12L	15L	15L

Select	Model No.	Parts No.	A	B	C	D	E	F	G	H	I x No	P.C.D.	Thread Depth
	CF35BFVC/DN/12bit	3202131102216	30	4.5	4.5	69.5	229	264	90	130	M6 x 6	58.7	12L
	CF35BFVC/DN/24bit	320213110221G	30	4.5	4.5	69.5	229	264	90	130	M6 x 6	58.7	12L
	CF63BFVC/DN/12bit	3202151102216	35	16	16	113.6	260.5	314	90	130	M8 x 8	92.1	12L
	CF63BFVC/DN/24bit	320215110221G	35	16	16	113.6	260.5	314	90	130	M8 x 8	92.1	12L
	CF100BFVC/DN/12bit	3202181102216	30	36.5	36.5	151.6	279	351	90	130	M8 x 16	130.3	12L
	CF100BFVC/DN/24bit	320218110221G	30	36.5	36.5	151.6	279	351	90	130	M8 x 16	130.3	12L
	CF150BFVC/DN/12bit	3202201102216	40	57	57	202.5	416	514.5	110	140	M8 x 20	181	15L
	CF150BFVC/DN/24bit	320220110221G	40	57	57	202.5	416	514.5	110	140	M8 x 20	181	15L

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