APC自動壓力控制閥有DeviceNet通訊系統-KF法蘭型

APC自動壓力控制蝶閥(KF法蘭型)
自動壓力控制
通訊協議：DeviceNet

法蘭 : KF
尺寸 : KF25 / KF40 / KF50

Htc日揚真空蝶閥KF法蘭型自動壓力控制是整合真空壓力回饋與馬達控制技術的APC真空蝶閥, 可快速調節真空腔體製程壓力, 完全隔絶真空側與大氣側, 具有外形尺寸小、使用壽命長、易維修等優點;搭配Htc日揚真空的APC軟體, 可簡單快速設定監控製程壓力。

應用產業製程:
半導體(SEMI)、光電產業(FPD)、太陽能產業(Solar)、CVD製程等

安裝運用在真空泵幫浦與製程腔室間, 控制密封板開度進而達到壓力調節。

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Model No.	KF25BFVC/DN/12bit	KF25BFVC/DN/24bit	KF40BFVC/DN/12bit	KF40BFVC/DN/24bit	KF50BFVC/DN/12bit	KF50BFVC/DN/24bit
Parts No.	3202111101216	320211110121G	3202131101216	320213110121G	3202141101216	320214110121G
A	27	27	27	27	27	27
B	50	50	57	57	57	57
D	65	65	80	80	90	90
E	231	231	239.5	239.5	245	245
F	263.5	263.5	279.5	279.5	290	290
G	90	90	90	90	90	90
H	130	130	130	130	130	130

Select	Model No.	Parts No.	A	B	D	E	F	G	H
	KF25BFVC/DN/12bit	3202111101216	27	50	65	231	263.5	90	130
	KF25BFVC/DN/24bit	320211110121G	27	50	65	231	263.5	90	130
	KF40BFVC/DN/12bit	3202131101216	27	57	80	239.5	279.5	90	130
	KF40BFVC/DN/24bit	320213110121G	27	57	80	239.5	279.5	90	130
	KF50BFVC/DN/12bit	3202141101216	27	57	90	245	290	90	130
	KF50BFVC/DN/24bit	320214110121G	27	57	90	245	290	90	130

APC蝶閥-KF法蘭型

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