APC自動壓力控制閥有DeviceNet通訊系統-ISO法蘭型

APC自動壓力控制蝶閥(ISO法蘭型)
自動壓力控制
通訊協議：DeviceNet

法蘭 : ISO
尺寸 : ISO63 / ISO80 / ISO100 / ISO160

Htc日揚真空ISO法蘭型自動壓力控制蝶閥是整合真空壓力回饋與馬達控制技術的真空蝶閥, 可快速調節真空腔體製程壓力, 完全隔絶真空側與大氣側, 具有外形尺寸小、使用壽命長、易維修等優點;搭配Htc日揚真空的APC軟體, 可簡單快速設定監控製程壓力。

應用產業製程:
半導體(SEMI)、光電產業(FPD)、太陽能產業(Solar)、CVD製程等

安裝運用在真空泵幫浦與製程腔室間, 控制密封板開度進而達到壓力調節。

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Model No.	ISO63BFVC/DN/12bit	ISO63BFVC/DN/24bit	ISO80BFVC/DN/12bit	ISO80BFVC/DN/24bit	ISO100BFVC/DN/12bit	ISO100BFVC/DN/24bit	ISO160BFVC/DN/12bit	ISO160BFVC/DN/24bit
Parts No.	3202151113216	320215111321G	3202161113216	320216111321G	3202181113216	320218111321G	3202201113216	320220111321G
A	30	30	30	30	30	30	40	40
B	15	15	26	26	36	36	57	57
C	21	21	26	26	36	36	57	57
D	130	130	145	145	165	165	225	225
E	267	267	275	275	286	286	426	426
F	327	327	344	344	363	363	536	536
G	90	90	90	90	90	90	110	110
H	130	130	130	130	130	130	140	140
I x No	M8 x 4	M8 x 4	M8 x 8	M8 x 8	M8 x 8	M8 x 8	M10 x 8	M10 x 8
P.C.D.	110	110	125	125	145	145	200	200
Thread Depth	12L	12L	12L	12L	12L	12L	15L	15L

Select	Model No.	Parts No.	A	B	C	D	E	F	G	H	I x No	P.C.D.	Thread Depth
	ISO63BFVC/DN/12bit	3202151113216	30	15	21	130	267	327	90	130	M8 x 4	110	12L
	ISO63BFVC/DN/24bit	320215111321G	30	15	21	130	267	327	90	130	M8 x 4	110	12L
	ISO80BFVC/DN/12bit	3202161113216	30	26	26	145	275	344	90	130	M8 x 8	125	12L
	ISO80BFVC/DN/24bit	320216111321G	30	26	26	145	275	344	90	130	M8 x 8	125	12L
	ISO100BFVC/DN/12bit	3202181113216	30	36	36	165	286	363	90	130	M8 x 8	145	12L
	ISO100BFVC/DN/24bit	320218111321G	30	36	36	165	286	363	90	130	M8 x 8	145	12L
	ISO160BFVC/DN/12bit	3202201113216	40	57	57	225	426	536	110	140	M10 x 8	200	15L
	ISO160BFVC/DN/24bit	320220111321G	40	57	57	225	426	536	110	140	M10 x 8	200	15L

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