Edwards 磁浮涡轮分子泵
Htc日扬真空获原厂Edwards技术指导提供台湾区Edwards 磁浮涡轮分子泵，同等原厂真空泵技术服务。
产品细项
STP 涡轮分子泵内含控制器
- 精简设计，包含完全整合在内的控制器
- 创新、自我监控的磁浮轴承系统
- 数位五轴控制
- 与现有的温轮分子泵比较震动减少50%
- 整改后可以适用在腐蚀性制程
STP 磁浮式涡轮分子泵
STP系列磁浮式涡轮分子泵在长时间运转、无碳氢化物的抽气过程中是首选，运转中利用多轴磁浮轴承系统来支撑转子，使震动最小化、减少噪音和维护需求、并可排除污染风险。STP系列磁浮式涡轮分子泵可以和新型的控制器完全相容并且广泛应用在许多不同的制程。
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