Local Scrubber 濕式洗滌設備-吸附式尾氣處理設備

Htc日揚真空提供微氣泡水洗式廢氣處理設備 (μ-Bubble Wet Scrubber) 銷售與保養服務，以高標準、高品質的產品與標準維修保養程序管理，為先進半導體製程等高科技產業提供最佳廢氣處理服務，是客戶值得信賴的合作夥伴！

設備原理

利用文氏管原理、壓力、流速、管徑之變化產生最佳化之微氣泡， μ- Bubble的粒徑更小、接觸表面積大、浮力低停留水中時間增長…等，透過微氣泡的特性可有效增加氣體溶解率及微粒捕捉率，提高製程氣體之捕捉效率。比傳統灑水式Wet Scrubber更高效。

產品特點

相較於傳統灑水式Wet Scrubber，日揚科技微氣泡水洗式廢氣處理設備 (μ-Bubble Wet Scrubber) 具備以下優點：

1. 在晶圓廠和光電廠己證實能高效處理PM 2.5之微粒子，微粒子捕捉效率>90%，傳統灑水式<10%

2. 吸入口負壓值高(-11~-13Kpa)，水氣混合效率高

3. 具自動清洗功能，能延長本身設備PM週期

4. 減少製程Dry Pump阻塞以增加Life Time

5. 減少後段廠務管線阻塞，延長PM時間

設備介紹｜微氣泡水洗式廢氣處理設備 (μ-Bubble Wet Scrubber)

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